قارب قاعدة السيليكون

يعتبر Semicorex Silicon Pedestal Boat عبارة عن حاملة رقائق فائقة النظافة تم تصميمها بدرجة عالية من النقاء والدقة لدعم عمليات أشباه الموصلات ذات درجة الحرارة العالية مثل الأكسدة والانتشار و LPCVD (ترسيب البخار الكيميائي منخفض الضغط). حامل الرقاقة هذا مصنوع من 9N (99.9999999%)السيليكون عالي النقاءيتمتع القارب ذو القاعدة بموصلية حرارية جيدة ومعامل تمدد حراري منخفض يوفر خصائص نقل الحرارة مع الحفاظ على الشكل والسلامة الهيكلية مع دورات التدفئة والتبريد المتعددة. يوفر التصميم القوي أيضًا عمرًا طويلًا مع الحد الأدنى من التشوه خلال ظروف الفرن القاسية.

مع استمرار تقلص هندسة أجهزة أشباه الموصلات، لم تكن الحاجة إلى مكونات معالجة الرقاقات فائقة النظافة والمتوافقة حراريًا في مثل هذا الطلب من قبل. يعالج قارب Silicon Pedestal Boat هذه المتطلبات بدقة أبعاد عالية ونقاء لا مثيل له لاستخدامه في أنظمة الأفران المتقدمة التي تعمل بين 1100 درجة مئوية و1250 درجة مئوية.

يمكن تخصيص هيكل القارب السيليكوني لتلبية متطلبات العملاء، بما في ذلك شكل شريط الأخدود، وطول سن الأخدود، والشكل، وزاوية الميل، وقدرة تحميل الرقاقة الإجمالية. يمكن لقوارب السيليكون ذات درجة الحرارة العالية أن تقلل بشكل فعال من تلف الاتصال برقائق السيليكون، مما يحسن إنتاجية العملية. يدعم تصميم "الأبراج المانعة للانزلاق" ذات درجة الحرارة العالية الرقائق الموجودة عند طرف السن الداعم فقط. بالمقارنة مع كربيد السيليكون، فإن السيليكون أقل صلابة نسبيًا، مما يقلل من الأضرار الميكانيكية للرقائق، وبالتالي تحسين جودة الشبكة وتقليل تكاليف الإنتاج بشكل فعال.

القارب ذو القاعدة متوفر فيأحادي البلورة أو السيليكون متعدد البلوراتلإزالة مخاطر التلوث المرتبطة بالمواد غير السيليكون. تشترك المنصة في نفس التركيب الكيميائي للرقائق المستخدمة بشكل نشط، مما يقلل من التفاعلات غير المرغوب فيها أو انتشار الأيونات أثناء العمليات ذات درجات الحرارة المرتفعة. يقلل تجانس المواد بشكل كبير من الهوية الفيزيائية للجسيمات والشوائب المعدنية للحصول على جودة عالية متسقة للرقاقة وإنتاجية عالية للأجهزة من خلال دورات الإنتاج المتكررة.

يتميز قارب Semicorex Silicon Pedestal Boat بفتحات مصممة بدقة للرقائق، بالإضافة إلى هياكل دعم رأسية، مما يضمن بقاء الرقائق متماسكة ومتباعدة بشكل مثالي أثناء دورة التسخين. يتميز ثبات الأبعاد بأنه رائع، مما يضمن أن القارب ذو القاعدة لن يلتوي أو ينحني أو يتحرك في درجات الحرارة القصوى، مما يوفر درجة حرارة جيدة وتوزيع الغاز على كل رقاقة. هذا الاستقرار الأبعاد له تأثير فوري وإيجابي على توحيد سماكة الفيلم أثناء الأكسدة والانتشار ويوفر عددًا أقل من العيوب بالإضافة إلى تكرار أفضل للعملية.

الميزة الأساسية للقارب ذو قاعدة السيليكون هي خصائصه الميكانيكية والحرارية المحسنة. ستساعد صلابة السيليكون مقارنة بـ SiC أو الكوارتز على تقليل الخدوش الدقيقة وتوليد الجسيمات بسبب اهتزاز الرقاقة أو الحركة أثناء التمدد الساخن. وينطبق هذا بشكل خاص على الرقائق الحساسة للجانب الخلفي، حيث تعد سلامة سطح الرقاقة أمرًا بالغ الأهمية لإنتاج وأداء الجهاز.

يتمتع القارب ذو القاعدة بموصلية حرارية جيدة ومعامل تمدد حراري منخفض يوفر خصائص نقل الحرارة مع الحفاظ على الشكل والسلامة الهيكلية مع دورات التدفئة والتبريد المتعددة. يوفر التصميم القوي أيضًا عمرًا طويلًا مع الحد الأدنى من التشوه خلال ظروف الفرن القاسية.

توفر Semicorex تصميمات مخصصة لمجموعة متنوعة من تكوينات المعدات، بما في ذلك قطر الرقاقة وعدد الفتحات وارتفاع القاعدة والتنوعات الهندسية. يتم فحص كل منتج للتأكد من نقائه، وقياس الأبعاد، واختبار التوصيل الحراري، وكل ذلك لتلبية أعلى المعايير في عملية تصنيع أشباه الموصلات.

يتوافق قارب Silicon Pedestal Boat مع عمليات الأكسدة والانتشار وكذلك مع LPCVD وتطبيقات التلدين التي تتطلب توحيدًا غير مسبوق في درجة الحرارة والتحكم في التلوث. ويتوافق قارب Silicon Pedestal Boat مع مكونات أفران السيليكون الأخرى مثل أنبوب الحاقن وأنبوب البطانة وحامل الرقاقة، مما يحافظ على تطابق المواد والحرارة في جميع أنحاء نظام المعالجة.