قارب رقاقة السيليكون

يمكن لـ Semicorex تخصيص هيكل قارب رقاقة السيليكون، بما في ذلك شكل قضيب الأخدود، وطول سن الأخدود، والشكل، وزاوية الميل، وقدرة تحميل الرقاقة الإجمالية، ويمكن إنتاجها وفقًا لمتطلبات العملاء. يمكن لقوارب السيليكون ذات درجة الحرارة العالية أن تقلل بشكل فعال من تلف الاتصال برقائق السيليكون وتحسين إنتاجية العملية. يدعم تصميم "الأبراج المانعة للانزلاق" ذات درجة الحرارة العالية الرقائق الموجودة عند طرف السن الداعم فقط. مقارنة بكربيد السيليكون، يتمتع السيليكون بصلابة منخفضة نسبيًا، مما يقلل من الأضرار الميكانيكية للرقائق، وبالتالي تحسين معدل تمرير الشبكة وتقليل تكاليف الإنتاج بشكل فعال. يتكون قارب السيليكون المنصهر من عدة أجزاء: الأسنان، ولوحة القاعدة، واللوحة العلوية، والتي يتم دمجها معًا. وهذا يقلل من تكاليف الإنتاج. وفي حالة حدوث ضرر جزئي، يمكن استبدال الأجزاء التالفة دون استبدال قارب السيليكون بالكامل، مما يقلل بشكل كبير من تكاليف الملكية أثناء الاستخدام. بالإضافة إلى ذلك، يحتوي قارب السيليكون على حد أعلى كبير لترسب البولي سيليكون، والذي يمكن أن يقلل بشكل فعال من تردد معدات PM ويحسن القدرة الإنتاجية.

يعتبر Semicorex Silicon Wafer Boat عبارة عن حاملة رقائق مبتكرة ومصممة خصيصًا لهذا الغرض. تم إنشاؤه خصيصًا لمعالجة الأفران ذات درجات الحرارة العالية المستخدمة في صناعة أشباه الموصلات، بما في ذلك عمليات الأكسدة والاختزال عند درجات حرارة تتراوح بين 1200 و1250 درجة مئوية. يتميز قارب رقاقة السيليكون بمزايا الأداء غير المتوفرة في مادة كربيد السيليكون (SiC)، ويوفر مزايا مرتبطة بالعمليات الصارمة التي يتطلبها تصنيع أشباه الموصلات. أولاً، تعتبر النقاء العالي جدًا لمادة السيليكون أمرًا مهمًا؛ في الواقع،مادة السيليكونيحقق مستويات فائقة النقاء تزيد عن 9N (99.9999999%)، وبالتالي ضمان عدم تلوث معالجة الرقاقات بأي شوائب معدنية أو غريبة. يعد هذا أمرًا بالغ الأهمية لتصنيع أجهزة أشباه الموصلات المتطورة حيث تتأثر موثوقية الأداء والإنتاجية بشدة بالتلوث. يوفر قارب ويفر السيليكون بيئة فائقة النظافة مع مستوى عالٍ من النقاء المناسب لمتطلبات الصناعة الأكثر تقدمًا للتعامل مع الرقائق المعرضة لدرجات حرارة عالية جدًا لمعالجة الأكسدة والاختزال.

فائدة أخرى للمادة السيليكونهي خصائص صلابة أقل بالمقارنة مع مادة SiC. تُعرف قضبان أو قوارب SiC بالصلابة والقوة، ولكن هذه الخاصية نفسها يمكن أن تؤدي إلى صعوبات أثناء معالجة الرقاقة. عند درجات الحرارة المرتفعة، ستتحرك الرقائق بشكل دقيق؛ سوف ترتد قليلاً، وتتحول قليلاً، وتتشوه الحواف أثناء وجودها داخل القارب. يمكن أن تشكل مادة SiC الأكثر صلابة مخاطر أكبر لتوليد جزيئات أو خدوش في الجانب الخلفي من الرقاقة حيث تتفاعل خصائص الرقاقة والقارب في ظل ظروف المعالجة ذات درجة الحرارة العالية.

يخفف قارب رقاقة السيليكون من هذا القلق من خلال الاستفادة من طابع السيليكون الناعم نسبيًا فيما يتعلق بـ SiC. يسمح انخفاض الصلابة بتقليل الاحتكاك والضغط الميكانيكي عندما تتلامس الرقائق مع القارب أثناء الدورات الحرارية. ونتيجة لذلك، يتم إنشاء الجسيمات بشكل أقل، ويتم تقليل خطر الخدوش الخلفية إلى ما يقرب من الصفر. علاوة على ذلك، ومن خلال تقليل عيوب السطح، يعمل قارب رقاقة السيليكون على تحسين جودة الشبكة بشكل مباشر ورفع معدل التأهيل الإجمالي للرقائق المعالجة. بالنسبة لمصنعي أشباه الموصلات الذين يتطلعون إلى تحسين الإنتاجية مع أقصى قدر من التحكم في الجودة، فإن حالة الأداء هذه تجعل من قارب السيليكون خيارًا جذابًا.

يوفر السيليكون ثباتًا جيدًا وقوة ميكانيكية في درجات الحرارة المرتفعة، مما يسمح للقارب بالعمل بشكل موثوق أثناء دورات الفرن المتكررة. تقاوم المادة الاعوجاج أثناء دورات التسخين والتبريد، وبالتالي، تحافظ على وضع الرقاقة بدقة وتحمل الوضع حتى أثناء دورات الفرن السريعة. توفر هذه المتانة الحرارية نتائج عملية يمكن الاعتماد عليها ومتسقة بدرجة كافية لإنتاج كميات كبيرة مع الحد الأدنى من الاختلاف بين عمليات التشغيل. تم تصميم قارب رقاقة السيليكون بدقة عالية الأبعاد لضمان تحديد موضع الرقاقة ووضعها بشكل متسق. تم تصنيع القارب باستخدام الآلات المتقدمة والتلميع لإنشاء أسطح ناعمة وهندسة متقاربة وتفاوتات مشددة.