حلقات بولي سي مشقوقة

يتم عادةً تركيب حلقات Poly-Si المشقوقة في غرفة التفاعل الخاصة بمعدات حفر أشباه الموصلات المتقدمة. وهي تعمل بالتآزر مع أجزاء السيليكون، بما في ذلك السيليكونحلقات التركيزوالحلقات الخارجية من السيليكون والسيليكونرؤوس الدش. يمكن لهذه الأجزاء أن تخلق بيئة تفاعل مستقرة ومثالية لعملية النقش، مما يضمن الأداء الممتازالنقشالدقة واتساق العملية.

وظائف حلقات Semicorex poly-Si المشقوقة

1. حلقات Semicorex poly-Si المشقوقة مُجهزة بفتحات متعددة موزعة بالتساوي والتي تعمل كممرات للغاز، والتي تسمح بالعادم السلس للغازات المعالجة بعد التفاعل.

2. حلقات Semicorex poly-Si المشقوقة قادرة على تحقيق تحكم ممتاز في البلازما، مما يوفر حماية موثوقة لغرفة التفاعل لمعدات حفر أشباه الموصلات.

3. يمكن أن تساعد حلقات Semicorex poly-Si المشقوقة في ضبط المجال الكهربائي وضغط الحجرة، وبالتالي منع عدم الاستقرار من التأثير على اتساق عملية الحفر.

اختيار المواد عالية المستوى

يتم تصنيع حلقات Semicorex poly-Si المشقوقة من السيليكون متعدد البلورات عالي الجودة بمستوى نقاء يزيد عن 99.9999%، مما يمنحها خصائص فائقة على النحو التالي.

1. نقاء عالي للغاية ومحتوى شوائب منخفض للغاية.

2. مقاومة تآكل البلازما استثنائية.

3. خصائص كهربائية مناسبة، مع تجانس المقاومة: RRG ≥ 5%، دقة منخفضة. (<0.02)، الدقة المتوسطة. (1-4)، وعالية الدقة. (70-90).

قدرات التصنيع ومراقبة الجودة

مجهزة بمعدات تصنيع متقدمة وفريق فني ذو خبرة، تتحكم Semicorex بشكل صارم في كل عملية إنتاج وتقدم حلقات بولي سي عالية الجودة ومتوافقة بشكل جيد لعملائنا الكرام. بالإضافة إلى ذلك، تقوم Semicorex بإجراء رقابة صارمة على قياس الأبعاد واختبار المقاومة والفحص البصري على حلقات Poly-Si المشقوقة النهائية لضمان خلوها من العيوب مثل الرقائق والخدوش والشقوق والبقع.