تم تصميم صينية النقش بالبلازما ICP من Semicorex خصيصًا لعمليات معالجة الرقائق ذات درجة الحرارة العالية مثل epitaxy و MOCVD. مع مقاومة أكسدة ثابتة ودرجة حرارة عالية تصل إلى 1600 درجة مئوية ، فإن الناقلات الخاصة بنا توفر ملامح حرارية ، وأنماط تدفق غاز رقائقي ، وتمنع التلوث أو انتشار الشوائب.
اقرأ أكثرإرسال استفسار