تم تصميم صينية النقش بالبلازما ICP من Semicorex خصيصًا لعمليات معالجة الرقائق ذات درجة الحرارة العالية مثل epitaxy و MOCVD. مع مقاومة أكسدة ثابتة ودرجة حرارة عالية تصل إلى 1600 درجة مئوية ، فإن الناقلات الخاصة بنا توفر ملامح حرارية ، وأنماط تدفق غاز رقائقي ، وتمنع التلوث أو انتشار الشوائب.
صينية النقش بالبلازما ICP الخاصة بنا مطلية بكربيد السليكون باستخدام طريقة CVD ، وهي الحل المثالي لعمليات معالجة الرقائق التي تتطلب درجة حرارة عالية وتنظيفًا كيميائيًا قاسيًا. تتميز ناقلات Semicorex بطلاء بلوري SiC ناعم يوفر حتى ملامح حرارية وأنماط تدفق الغاز الصفحي ، ويمنع التلوث أو انتشار الشوائب.
في Semicorex ، نركز على تقديم منتجات عالية الجودة وفعالة من حيث التكلفة لعملائنا. تتميز صينية النقش بالبلازما ICP بميزة سعرية ويتم تصديرها إلى العديد من الأسواق الأوروبية والأمريكية. نهدف إلى أن نكون شريكك على المدى الطويل ، حيث نقدم منتجات عالية الجودة وخدمة عملاء استثنائية.
اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد عن صينية النقش بالبلازما لبرنامج المقارنات الدولية.
معلمات صينية النقش بالبلازما لبرنامج المقارنات الدولية
المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC |
||
خصائص SiC-CVD |
||
هيكل بلوري |
مرحلة FCC β |
|
كثافة |
ز / سم ³ |
3.21 |
صلابة |
صلابة فيكرز |
2500 |
حجم الحبوب |
μ م |
2 ~ 10 |
نقاء كيميائي |
% |
99.99995 |
السعة الحرارية |
J · kg-1 · K-1 |
640 |
درجة حرارة التسامي |
℃ |
2700 |
قوة فيليكسورال |
MPa (RT 4 نقاط) |
415 |
معامل يونغ |
المعدل التراكمي (منحنى 4 نقاط ، 1300 درجة) |
430 |
التمدد الحراري (CTE) |
10-6 ك -1 |
4.5 |
توصيل حراري |
(ث / م ك) |
300 |
ملامح صينية النقش بالبلازما ICP
- تجنب التقشير والتأكد من الطلاء على كل الأسطح
مقاومة الأكسدة في درجات الحرارة العالية: مستقرة في درجات حرارة عالية تصل إلى 1600 درجة مئوية
درجة نقاء عالية: مصنوعة من ترسيب البخار الكيميائي CVD تحت ظروف الكلورة في درجات حرارة عالية.
مقاومة التآكل: صلابة عالية ، سطح كثيف وجزيئات دقيقة.
مقاومة التآكل: الكواشف الحمضية والقلوية والملح والعضوية.
- تحقيق أفضل نمط تدفق للغاز الرقائقي
- ضمان التوازن الحراري للملف الشخصي
- منع أي تلوث أو انتشار للشوائب