تم تصميم المستقبِل المطلي بكربيد السيليكون من Semicorex للبلازما المقترنة بالحث (ICP) خصيصًا لعمليات معالجة الرقائق ذات درجة الحرارة العالية مثل epitaxy و MOCVD. مع مقاومة أكسدة ثابتة ودرجة حرارة عالية تصل إلى 1600 درجة مئوية ، تضمن شركات النقل لدينا التشكيلات الحرارية المتساوية ، وأنماط تدفق الغاز الرقائقي ، وتمنع التلوث أو انتشار الشوائب.
اقرأ أكثرإرسال استفسار