تم تصميم حلقات التركيز المتينة من Semicorex لمعالجة أشباه الموصلات لتحمل البيئات القاسية لغرف حفر البلازما المستخدمة في معالجة أشباه الموصلات. حلقات التركيز الخاصة بنا مصنوعة من الجرافيت عالي النقاء المطلي بطبقة كثيفة من كربيد السليكون المقاوم للتآكل (SiC). يتميز طلاء SiC بخصائص مقاومة التآكل والحرارة العالية ، فضلاً عن التوصيل الحراري الممتاز. نقوم بتطبيق SiC في طبقات رقيقة على الجرافيت باستخدام عملية ترسيب البخار الكيميائي (CVD) لتحسين عمر خدمة حلقات التركيز لدينا.
اقرأ أكثرإرسال استفسار