تم تصميم صينية حامل النقش PSS من Semicorex لمعالجة الرقاقات خصيصًا لتطبيقات المعدات الفوقية الصعبة. يُعد حامل الجرافيت فائق النقاء الخاص بنا مثاليًا لمراحل ترسيب الأغشية الرقيقة مثل MOCVD، والمستقبلات الفوقية، ومنصات الفطائر أو الأقمار الصناعية، ومعالجة معالجة الرقاقات مثل النقش. تتميز صينية حامل النقش PSS لمعالجة الرقاقات بمقاومة عالية للحرارة والتآكل، وخصائص ممتازة لتوزيع الحرارة، وموصلية حرارية عالية. منتجاتنا فعالة من حيث التكلفة ولها ميزة سعرية جيدة. نحن نخدم العديد من الأسواق الأوروبية والأمريكية ونتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.
تم تصميم صينية حامل النقش PSS لمعالجة الرقاقات من Semicorex للبيئات القاسية المطلوبة للنمو الفوقي وعمليات معالجة الرقاقات. تم تصميم حامل الجرافيت فائق النقاء الخاص بنا لدعم الرقاقات أثناء مراحل ترسيب الأغشية الرقيقة مثل MOCVD والمستقبلات الفوقية أو الفطائر أو منصات الأقمار الصناعية. يتميز الناقل المطلي بـ SiC بمقاومة عالية للحرارة والتآكل، وخصائص توزيع الحرارة ممتازة، وموصلية حرارية عالية. منتجاتنا فعالة من حيث التكلفة وتوفر ميزة سعرية جيدة.
معلمات صينية حامل النقش PSS لمعالجة الرقاقات
المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC |
||
خصائص SiC-CVD |
||
الهيكل البلوري |
المرحلة FCC β |
|
كثافة |
جم / سم ³ |
3.21 |
صلابة |
صلابة فيكرز |
2500 |
حجم الحبوب |
ميكرومتر |
2~10 |
النقاء الكيميائي |
% |
99.99995 |
القدرة الحرارية |
ي كغ-1 ك-1 |
640 |
درجة حرارة التسامي |
℃ |
2700 |
قوة العطف |
ميجا باسكال (RT 4 نقاط) |
415 |
معامل يونغ |
المعدل التراكمي (انحناء 4pt، 1300 درجة مئوية) |
430 |
التمدد الحراري (C.T.E) |
10-6 ك-1 |
4.5 |
الموصلية الحرارية |
(ث / م ك) |
300 |
مميزات صينية حامل النقش PSS لمعالجة الرقاقات
- تجنب التقشير وتأكد من الطلاء على جميع الأسطح
مقاومة الأكسدة لدرجات الحرارة العالية: مستقرة عند درجات حرارة عالية تصل إلى 1600 درجة مئوية
درجة نقاء عالية: يتم تصنيعها عن طريق ترسيب البخار الكيميائي CVD تحت ظروف الكلورة ذات درجة الحرارة العالية.
مقاومة التآكل: صلابة عالية، سطح كثيف وجزيئات دقيقة.
مقاومة التآكل: الأحماض والقلويات والملح والكواشف العضوية.
- تحقيق أفضل نمط لتدفق الغاز الصفحي
- ضمان تساوي الملف الحراري
- منع انتشار أي تلوث أو شوائب