حامل النقش PSS المطلي بـ SiC

يجب أن تتحمل حاملات الرقاقات المستخدمة في النمو الفوقي ومعالجة الرقاقات درجات حرارة عالية وتنظيفًا كيميائيًا قاسيًا. تم تصميم حامل النقش PSS المطلي بـ Semicorex SiC خصيصًا لتطبيقات المعدات الفوقية الصعبة. تتمتع منتجاتنا بميزة سعرية جيدة وتغطي العديد من الأسواق الأوروبية والأمريكية. ونحن نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.

إرسال استفسار

وصف المنتج

ليس فقط لمراحل ترسيب الأغشية الرقيقة مثل epitaxy أو MOCVD، أو معالجة معالجة الرقاقات مثل النقش، توفر Semicorex حامل النقش PSS المطلي بـ SiC فائق النقاء والمستخدم لدعم الرقاقات. في حفر البلازما أو الحفر الجاف، تتعرض هذه المعدات أو المستشعرات الفوقية أو منصات الأقمار الصناعية لـ MOCVD أولاً لبيئة الترسيب، لذلك فهي تتمتع بمقاومة عالية للحرارة والتآكل. يتمتع حامل النقش PSS المطلي بـ SiC أيضًا بموصلية حرارية عالية وخصائص ممتازة لتوزيع الحرارة.

يتم استخدام حاملات الحفر PSS (الركيزة المنقوشة) المطلية بـ SiC في تصنيع أجهزة LED (الصمام الثنائي الباعث للضوء). يعمل حامل الحفر PSS كركيزة لنمو طبقة رقيقة من نيتريد الغاليوم (GaN) التي تشكل هيكل LED. تتم بعد ذلك إزالة حامل الحفر PSS من هيكل LED باستخدام عملية الحفر الرطب، تاركًا وراءه سطحًا منقوشًا يعزز كفاءة استخلاص الضوء لـ LED.

معلمات حامل النقش PSS المطلي بـ SiC

المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC
خصائص SiC-CVD
الهيكل البلوري	المرحلة FCC β
كثافة	جم/سم ³	3.21
صلابة	صلابة فيكرز	2500
حجم الحبوب	ميكرومتر	2~10
النقاء الكيميائي	%	99.99995
القدرة الحرارية	ي كغ-1 ك-1	640
درجة حرارة التسامي	℃	2700
قوة العطف	ميجا باسكال (RT 4 نقاط)	415
معامل يونغ	المعدل التراكمي (انحناء 4pt، 1300 درجة مئوية)	430
التمدد الحراري (C.T.E)	10-6 ك-1	4.5
الموصلية الحرارية	(ث / م ك)	300

ميزات حامل النقش PSS المطلي بـ SiC عالي النقاء

- تتمتع كل من طبقة الجرافيت وطبقة كربيد السيليكون بكثافة جيدة ويمكن أن تلعب دورًا وقائيًا جيدًا في درجات الحرارة المرتفعة وبيئات العمل المسببة للتآكل.

- المستقبِل المطلي بكربيد السيليكون المستخدم لنمو البلورة المفردة له سطح مسطح عالي جدًا.

- تقليل الفرق في معامل التمدد الحراري بين طبقة الجرافيت وطبقة كربيد السيليكون، وتحسين قوة الترابط بشكل فعال لمنع التشقق والتصفيح.

- تتمتع كل من ركيزة الجرافيت وطبقة كربيد السيليكون بموصلية حرارية عالية وخصائص ممتازة لتوزيع الحرارة.

- نقطة انصهار عالية، مقاومة الأكسدة في درجات الحرارة العالية، مقاومة للتآكل.