ناقل النقش PSS المطلي بالراديب الكربوني

يجب أن تتحمل ناقلات الرقاقات المستخدمة في النمو اللاصق ومعالجة مناولة الرقائق درجات حرارة عالية وتنظيف كيميائي قاسي. تم تصميم حامل النقش PSS المطلي بـ Semicorex SiC خصيصًا لتطبيقات معدات epitaxy المتطلبة. تتمتع منتجاتنا بميزة سعرية جيدة وتغطي العديد من الأسواق الأوروبية والأمريكية. نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.

إرسال استفسار

وصف المنتج

ليس فقط لمراحل ترسيب الأغشية الرقيقة مثل epitaxy أو MOCVD ، أو معالجة مناولة الرقاقة مثل النقش ، توفر Semicorex حاملة نقش PSS مطلية بـ SiC فائقة النقاء تستخدم لدعم الرقاقات. في حفر البلازما أو الحفر الجاف ، فإن هذه المعدات ، أو المستشعرات اللاصقة ، أو الفطائر أو منصات الأقمار الصناعية لـ MOCVD ، تخضع أولاً لبيئة الترسيب ، لذلك فهي تتمتع بمقاومة عالية للحرارة والتآكل. تتميز حاملة النقش PSS المطلية بـ SiC أيضًا بموصلية حرارية عالية وخصائص توزيع حرارة ممتازة.

تستخدم ناقلات النقش PSS (الركيزة الياقوتية المنقوشة) المطلية SiC في تصنيع أجهزة LED (الصمام الثنائي الباعث للضوء). يعمل حامل الحفر PSS كركيزة لنمو غشاء رقيق من نيتريد الغاليوم (GaN) الذي يشكل هيكل LED. يتم بعد ذلك إزالة حامل الحفر PSS من هيكل LED باستخدام عملية الحفر الرطب ، تاركًا وراءه سطحًا منقوشًا يعزز كفاءة استخراج الضوء من LED.

معلمات ناقل النقش PSS المطلي بـ SiC

المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC
خصائص SiC-CVD
هيكل بلوري	مرحلة FCC Î²
كثافة	ز / سم ³	3.21
صلابة	صلابة فيكرز	2500
حجم الحبوب	Î¼ م	2 ~ 10
نقاء كيميائي	%	99.99995
السعة الحرارية	J · kg-1 · K-1	640
درجة حرارة التسامي	℃	2700
قوة فيليكسورال	MPa (RT 4 نقاط)	415
معامل يونغ	المعدل التراكمي (منحنى 4 نقاط ، 1300 درجة)	430
التمدد الحراري (CTE)	10-6 ك -1	4.5
توصيل حراري	(ث / م ك)	300

ميزات حاملة النقش PSS المطلية بالكربيد عالية النقاء

- تتمتع كل من طبقة الجرافيت الأساسية وطبقة كربيد السيليكون بكثافة جيدة ويمكن أن تلعب دورًا وقائيًا جيدًا في درجات الحرارة العالية وبيئات العمل المسببة للتآكل.

- المستقبِل المطلي بكربيد السيليكون المستخدم لنمو بلورة مفردة له تسطيح سطح مرتفع جدًا.

- تقليل الاختلاف في معامل التمدد الحراري بين ركيزة الجرافيت وطبقة كربيد السيليكون ، وتحسين قوة الترابط بشكل فعال لمنع التكسير والتفكيك.

- تتمتع كل من طبقة الجرافيت الأساسية وطبقة كربيد السيليكون بموصلية حرارية عالية وخصائص ممتازة لتوزيع الحرارة.

- نقطة انصهار عالية ، مقاومة أكسدة عالية الحرارة ، مقاومة للتآكل.