تم تصميم حامل المناولة PSS من Semicorex لنقل بسكويت الويفر من أجل تطبيقات معدات epitaxy الأكثر تطلبًا. يمكن أن يتحمل حامل الجرافيت فائق النقاء الخاص بنا البيئات القاسية ودرجات الحرارة المرتفعة والتنظيف الكيميائي القاسي. يتميز الناقل المطلي SiC بخصائص توزيع الحرارة الممتازة ، والتوصيل الحراري العالي ، وهو فعال من حيث التكلفة. تُستخدم منتجاتنا على نطاق واسع في العديد من الأسواق الأوروبية والأمريكية ، ونتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.
تم تصميم حامل المناولة PSS لنقل الرقائق من Semicorex لتلبية متطلبات التنظيف الكيميائية القاسية ودرجة الحرارة العالية لعمليات النمو فوق المحور وعمليات معالجة الرقائق. يعتبر حامل الجرافيت شديد النقاء مثاليًا لمراحل ترسيب الأغشية الرقيقة مثل MOCVD ، ومستقبلات epitaxy ، ومنصات البانكيك أو الأقمار الصناعية ، ومعالجة معالجة الرقاقات مثل النقش. يتميز الناقل المطلي SiC بخصائص توزيع الحرارة الممتازة ، والتوصيل الحراري العالي ، وهو فعال من حيث التكلفة.
اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد عن شركة PSS Handling Carrier لنقل بسكويت الويفر.
معلمات ناقل مناولة PSS لنقل بسكويت الويفر
المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC |
||
خصائص SiC-CVD |
||
هيكل بلوري |
مرحلة FCC β |
|
كثافة |
ز / سم ³ |
3.21 |
صلابة |
صلابة فيكرز |
2500 |
حجم الحبوب |
μ م |
2 ~ 10 |
نقاء كيميائي |
% |
99.99995 |
السعة الحرارية |
J · kg-1 · K-1 |
640 |
درجة حرارة التسامي |
℃ |
2700 |
قوة فيليكسورال |
MPa (RT 4 نقاط) |
415 |
معامل يونغ |
المعدل التراكمي (منحنى 4 نقاط ، 1300 درجة) |
430 |
التمدد الحراري (CTE) |
10-6 ك -1 |
4.5 |
توصيل حراري |
(ث / م ك) |
300 |
ميزات ناقل المناولة PSS لنقل بسكويت الويفر
- تجنب التقشير والتأكد من الطلاء على كل الأسطح
مقاومة الأكسدة في درجات الحرارة العالية: مستقرة في درجات حرارة عالية تصل إلى 1600 درجة مئوية
درجة نقاء عالية: مصنوعة من ترسيب البخار الكيميائي CVD تحت ظروف الكلورة في درجات حرارة عالية.
مقاومة التآكل: صلابة عالية ، سطح كثيف وجزيئات دقيقة.
مقاومة التآكل: الكواشف الحمضية والقلوية والملح والعضوية.
- تحقيق أفضل نمط تدفق للغاز الرقائقي
- ضمان التوازن الحراري للملف الشخصي
- منع أي تلوث أو انتشار للشوائب