تم تصميم حامل معالجة PSS لنقل الرقاقات من Semicorex ليناسب تطبيقات المعدات الفوقية الأكثر تطلبًا. يمكن لحامل الجرافيت فائق النقاء أن يتحمل البيئات القاسية ودرجات الحرارة المرتفعة والتنظيف الكيميائي القاسي. يتميز الناقل المطلي بـ SiC بخصائص توزيع حرارة ممتازة، وموصلية حرارية عالية، وفعال من حيث التكلفة. يتم استخدام منتجاتنا على نطاق واسع في العديد من الأسواق الأوروبية والأمريكية، ونحن نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.
تم تصميم حامل معالجة PSS لنقل الرقاقة من Semicorex لتلبية متطلبات التنظيف الكيميائي القاسية ودرجة الحرارة العالية للنمو الفوقي وعمليات معالجة الرقاقة. يُعد حامل الجرافيت فائق النقاء الخاص بنا مثاليًا لمراحل ترسيب الأغشية الرقيقة مثل MOCVD، والمستقبلات الفوقية، ومنصات الفطائر أو الأقمار الصناعية، ومعالجة معالجة الرقاقات مثل النقش. يتميز الحامل المطلي بـ SiC بخصائص ممتازة لتوزيع الحرارة، وموصلية حرارية عالية، وفعال من حيث التكلفة.
اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد عن حامل معالجة PSS الخاص بنا لنقل الرقاقات.
معلمات حامل معالجة PSS لنقل الرقاقة
المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC |
||
خصائص SiC-CVD |
||
الهيكل البلوري |
المرحلة FCC β |
|
كثافة |
جم / سم ³ |
3.21 |
صلابة |
صلابة فيكرز |
2500 |
حجم الحبوب |
ميكرومتر |
2~10 |
النقاء الكيميائي |
% |
99.99995 |
القدرة الحرارية |
ي كغ-1 ك-1 |
640 |
درجة حرارة التسامي |
℃ |
2700 |
قوة العطف |
ميجا باسكال (RT 4 نقاط) |
415 |
معامل يونغ |
المعدل التراكمي (انحناء 4pt، 1300 درجة مئوية) |
430 |
التمدد الحراري (C.T.E) |
10-6 ك-1 |
4.5 |
الموصلية الحرارية |
(ث / م ك) |
300 |
ميزات حامل معالجة PSS لنقل الرقاقات
- تجنب التقشير وتأكد من الطلاء على جميع الأسطح
مقاومة الأكسدة لدرجات الحرارة العالية: مستقرة عند درجات حرارة عالية تصل إلى 1600 درجة مئوية
درجة نقاء عالية: يتم تصنيعها عن طريق ترسيب البخار الكيميائي CVD تحت ظروف الكلورة ذات درجة الحرارة العالية.
مقاومة التآكل: صلابة عالية، سطح كثيف وجزيئات دقيقة.
مقاومة التآكل: الأحماض والقلويات والملح والكواشف العضوية.
- تحقيق أفضل نمط لتدفق الغاز الصفحي
- ضمان تساوي الملف الحراري
- منع انتشار أي تلوث أو شوائب