تعتبر لوحة النقش السيليكونية من Semicorex لتطبيقات النقش PSS عبارة عن حامل جرافيت عالي الجودة وفائق النقاء مصمم خصيصًا للنمو الفوقي وعمليات معالجة الرقاقات. يمكن لحاملنا أن يتحمل البيئات القاسية ودرجات الحرارة المرتفعة والتنظيف الكيميائي القاسي. تتميز لوحة النقش المصنوعة من السيليكون لتطبيقات النقش PSS بخصائص ممتازة لتوزيع الحرارة، وموصلية حرارية عالية، وفعالة من حيث التكلفة. يتم استخدام منتجاتنا على نطاق واسع في العديد من الأسواق الأوروبية والأمريكية، ونحن نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.
تم تصميم لوحة النقش السيليكونية من Semicorex لتطبيقات النقش PSS خصيصًا لتطبيقات المعدات الفوقية الأكثر تطلبًا. يمكن لحامل الجرافيت فائق النقاء أن يتحمل البيئات القاسية ودرجات الحرارة المرتفعة والتنظيف الكيميائي القاسي. يتميز الحامل المطلي بـ SiC بخصائص ممتازة لتوزيع الحرارة، وموصلية حرارية عالية، وفعال من حيث التكلفة.
معلمات لوحة النقش السيليكونية لتطبيقات النقش PSS
المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC |
||
خصائص SiC-CVD |
||
الهيكل البلوري |
المرحلة FCC β |
|
كثافة |
جم/سم ³ |
3.21 |
صلابة |
صلابة فيكرز |
2500 |
حجم الحبوب |
ميكرومتر |
2~10 |
النقاء الكيميائي |
% |
99.99995 |
القدرة الحرارية |
ي كغ-1 ك-1 |
640 |
درجة حرارة التسامي |
℃ |
2700 |
قوة العطف |
ميجا باسكال (RT 4 نقاط) |
415 |
معامل يونغ |
المعدل التراكمي (انحناء 4pt، 1300 درجة مئوية) |
430 |
التمدد الحراري (C.T.E) |
10-6 ك-1 |
4.5 |
الموصلية الحرارية |
(ث / م ك) |
300 |
ميزات لوحة النقش السيليكونية لتطبيقات النقش PSS
- تجنب التقشير وتأكد من الطلاء على جميع الأسطح
مقاومة الأكسدة لدرجات الحرارة العالية: مستقرة عند درجات حرارة عالية تصل إلى 1600 درجة مئوية
درجة نقاء عالية: يتم تصنيعها عن طريق ترسيب البخار الكيميائي CVD تحت ظروف الكلورة ذات درجة الحرارة العالية.
مقاومة التآكل: صلابة عالية، سطح كثيف وجزيئات دقيقة.
مقاومة التآكل: الأحماض والقلويات والملح والكواشف العضوية.
- تحقيق أفضل نمط لتدفق الغاز الصفحي
- ضمان تساوي الملف الحراري
- منع انتشار أي تلوث أو شوائب