لوحة حفر السيليكون من Semicorex لتطبيقات النقش PSS هي حاملة جرافيت عالية الجودة ونقية للغاية تم تصميمها خصيصًا للنمو الفوقي وعمليات معالجة الرقاقات. يمكن لشركتنا تحمل البيئات القاسية ودرجات الحرارة المرتفعة والتنظيف الكيميائي القاسي. تتميز لوحة حفر السيليكون لتطبيقات النقش PSS بخصائص توزيع الحرارة الممتازة ، والتوصيل الحراري العالي ، وهي فعالة من حيث التكلفة. تُستخدم منتجاتنا على نطاق واسع في العديد من الأسواق الأوروبية والأمريكية ، ونتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.
صُممت لوحة حفر السيليكون من Semicorex لتطبيقات النقش PSS لتطبيقات معدات epitaxy الأكثر تطلبًا. يمكن أن يتحمل حامل الجرافيت فائق النقاء الخاص بنا البيئات القاسية ودرجات الحرارة المرتفعة والتنظيف الكيميائي القاسي. يتميز الناقل المطلي SiC بخصائص توزيع الحرارة الممتازة ، والتوصيل الحراري العالي ، وهو فعال من حيث التكلفة.
معلمات لوحة حفر السيليكون لتطبيقات النقش PSS
المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC |
||
خصائص SiC-CVD |
||
هيكل بلوري |
مرحلة FCC β |
|
كثافة |
ز / سم ³ |
3.21 |
صلابة |
صلابة فيكرز |
2500 |
حجم الحبوب |
μ م |
2 ~ 10 |
نقاء كيميائي |
% |
99.99995 |
السعة الحرارية |
J · kg-1 · K-1 |
640 |
درجة حرارة التسامي |
℃ |
2700 |
قوة فيليكسورال |
MPa (RT 4 نقاط) |
415 |
معامل يونغ |
المعدل التراكمي (منحنى 4 نقاط ، 1300 درجة) |
430 |
التمدد الحراري (CTE) |
10-6 ك -1 |
4.5 |
توصيل حراري |
(ث / م ك) |
300 |
ميزات لوحة النقش السيليكونية لتطبيقات النقش PSS
- تجنب التقشير والتأكد من الطلاء على كل الأسطح
مقاومة الأكسدة في درجات الحرارة العالية: مستقرة في درجات حرارة عالية تصل إلى 1600 درجة مئوية
درجة نقاء عالية: مصنوعة من ترسيب البخار الكيميائي CVD تحت ظروف الكلورة في درجات حرارة عالية.
مقاومة التآكل: صلابة عالية ، سطح كثيف وجزيئات دقيقة.
مقاومة التآكل: الكواشف الحمضية والقلوية والملح والعضوية.
- تحقيق أفضل نمط تدفق للغاز الرقائقي
- ضمان اتساق البروفايل الحراري
- منع أي تلوث أو انتشار للشوائب