حلقات النقش السيليكون

تعد حلقات الحفر السيليكونية المكونات الأساسية داخل غرفة حفر البلازما لمعدات الحفر CCP/ICP ويتم وضعها عادةً حول رقاقة أشباه الموصلات. وتتمثل وظائفها الأساسية في دعم رقاقة أشباه الموصلات، والحفاظ على توزيع البلازما بشكل موحد، وحماية حافة الرقاقة، وبالتالي المساعدة في خلق ظروف تشغيل مثالية لعملية حفر البلازما.

مزايا حلقات النقش السيليكون Semicorex

1. اختيار المواد المتميزة

يتم تصنيع حلقات النقش السيليكون Semicorex من MCZ عالي النقاء تم اختياره بعنايةالسيليكون أحادي البلورية، والذي يقدم الخصائص الممتازة التالية على السيليكون أحادي البلورية التقليدي CZ.

درجة نقاء عالية: تبلغ نسبة النقاء أكثر من 99.9999999%، مما يعني أن حلقات النقش المصنوعة من السيليكون Semicorex لا تحتوي على أي شوائب تقريبًا. هذه النقاء العالي للغاية يمكن أن يتجنب بشكل فعال التداخل من شوائب المكونات أثناء عملية النقش، وبالتالي ضمان دقة النقش العالية.

هيكل مستقر: يتميز السيليكون أحادي البلورية MCZ ببنية بلورية فائقة مع عيوب أقل من السيليكون أحادي البلورية التقليدي. يمنح هذا الهيكل البلوري المستقر حلقات النقش المصنوعة من السيليكون من Semicorex مقاومة معززة للتآكل لتآكل البلازما وتمكينها من تحمل ظروف تشغيل النقش القاسية.

توحيد المقاومة ممتازة:حلقات النقش السيليكون Semicorexيوفر تجانسًا استثنائيًا للمقاومة مع RRG <5%. دقة منخفضة. (<0.02 Ω·cm)، دقة متوسطة. (0.2–25 أوم·سم)، دقة عالية. (> 100 أوم · سم). هذا التوحيد الممتاز للمقاومة يمكن أن يقلل من توزيع البلازما غير المتساوي الناتج عن المقاومة العالية أو المنخفضة بشكل مفرط، مما يساهم في مجال كهربائي مثالي لحفر البلازما عالي الدقة.

2. المعالجة الدقيقة وفحص الجودة الصارمة

تفتخر Semicorex بفريق فني ذو خبرة يمكنه توفير التخصيص الشخصي والتقييمات الفنية لعملائنا الكرام، كما أنشأ إجراءات معالجة وفحص منهجية لضمان جودة المنتج.

خدمات التخصيص المرنة: تدعم Semicorex التخصيص بناءً على رسومات العملاء، ويمكن أن يصل الحد الأقصى للقطر المخصص لحلقات الحفر المصنوعة من السيليكون إلى 470 مم.

معالجة سطحية عالية المستوى: يمكن التحكم بشكل صارم في دقة التلميع ضمن Ra < 0.1 ميكرومتر، ويحقق الطحن الدقيق تشطيبًا سطحيًا يبلغ Ra > 0.1 ميكرومتر.

فحص صارم للجودة: سيتم إجراء قياس الأبعاد واختبار المقاومة والفحص البصري لضمان أن حلقات النقش السيليكونية خالية من الرقائق والخدوش والشقوق والبقع والعيوب الأخرى.