رأس دش سيليكون كريستالي واحد

سيميكوركس سيليكون كريستالي واحدرأس الدشيُظهر مقاومة استثنائية للتآكل، ومعامل تمدد منخفض، وموصلية حرارية ممتازة. يتكيف بقوة مع الظروف القاسية لدرجات الحرارة المرتفعة والتآكل العالي والفراغ العالي في تصنيع أشباه الموصلات، فهو يُظهر تحملًا استثنائيًا لمعالجة الغازات مثل غازات الحفر والترسيب. لذلك، يتم استخدام رأس الدش السيليكوني البلوري الأحادي على نطاق واسع في عمليات تنظيف أشباه الموصلات وعمليات الأكسدة وعمليات الترسيب وعمليات الحفر.

تستخدم شركة Semicorex تقنيات معالجة سطحية متقدمة لضمان أن سطح رأس الدش المصنوع من السيليكون البلوري الواحد يتميز بدرجة عالية من التسطيح والنعومة. وفي الوقت نفسه، بالاعتماد على التصميم الموحد لهيكل القناة ومسار الغاز، يتم توزيع سطح رأس الدش السيليكون البلوري الفردي بشكل موحد مع العديد من المسام من نفس القطر (يمكن أن يصل الحد الأدنى للقطر إلى 0.2 ملم). يتم التحكم بدقة في تسامح قطر المسام لرأس الدش المصنوع من السيليكون البلوري الفردي على مستوى الميكرومتر، ويجب أن يكون الجدار الداخلي للمسام سلسًا وخاليًا من نتوءات، مما يضمن دقة توزيع وتوحيد غاز العملية من الجوانب الهيكلية والعملية.

توفر Semicorex خدمات التخصيص المتخصصة لتلبية احتياجات العملاء المختلفة. وفقًا للاحتياجات المتنوعة لعملائها، يمكنها تخصيص حلول المظهر لتناسب أبعاد وشكل غرف التفاعل الخاصة بهم. يمكّن التصميم الأمثل الرقائق من إجراء اتصال كامل ومتسق مع غاز العملية طوال عملية التفاعل من خلال ضمان تشتيت الغاز بالتساوي في جميع أنحاء غرفة التفاعل. وهذا في نهاية المطاف يعزز كفاءة الإنتاج وجودة المنتج.