8 بوصة حلقة السفلية EPI

يعد حلقة أسفل EPI Semicorex 8 بوصة جزءًا هيكليًا مهمًا يتم استخدامه في معدات Epitaxy أشباه الموصلات وهو مصمم خصيصًا ليكون الحلقة السفلية لتجميع الحساب الكامل. تدعم الحلقة السفلية نظام حاملة الرقاقة أثناء النمو الفوقي للويفر مع المساهمة في استقرار ميكانيكيا ، والتوحيد الحراري ، وسلامة العملية اللازمة لتصنيع رقائق أشباه الموصلات عالية الأداء. يتم تصنيع الحلقة السفلية من الجرافيت عالي النقاء الذي تم تغليفه ، على مستوى السطح ، مع طبقة كثيفة وموحدة من كربيد السيليكون (SIC). ونتيجة لذلك ، فإنه يمثل بديلاً موثوقًا للغاية للمفاعلات الفوقية المتقدمة في ظل الظروف الحرارية والكيميائية المتطرفة.

الجرافيت هو المادة الأساسية الأنسب للحلقة السفلية بسبب وزنها الخفيف ، والموصل الحراري الممتاز ، والبناء غير المعقدة مع استقرار الأبعاد العرضية والرأسية تحت درجة حرارة عالية. تسمح هذه الخصائص للحلقة السفلية بالدورة حرارياً بالسرعة ، وبالتالي تظهر استمرارية ثابتة في الأداء الميكانيكي أثناء الخدمة. يتم تطبيق الطلاء الخارجي SIC باستخدام عملية ترسيب البخار الكيميائي (CVD) لتصنيع طبقة خارجية كريمة وخالية من العيوب. بالإضافة إلى ذلك ، توفر عملية الأمراض القلبية الوعائية عملية تحد من التآكل وجسيمات الجسيمات من خلال التعامل مع طلاء SIC بعناية لا تزعج الجرافيت الركيزة الأساسي. بصفتها مزيجًا من SIC والجرافيت ، تكون الطبقة السطحية SIC خاملة كيميائيًا للعمل التآكل لغازات العملية ، وخاصة مع المنتجات الثانوية الهيدروجين والكلور ، ولديها صلابة ممتازة وارتداء - ضمان أكبر قدر من الدعم لنظام حاملة الويفر أثناء الاستخدام.

تم تصنيع الحلقة السفلية لـ 8 بوصات EPI للتوافق مع معظم أدوات MOCVD الأفقية أو الرأسية وأدوات CVD التي تودع السيليكون أو كربيد السيليكون أو أشباه الموصلات المركبة. تم تصميم الهندسة الأمثل لتناسب المكونات العليا والمكونات العليا لنظام حامل الرقاقة مع محاذاة دقيقة وتوزيع الحرارة العالمي والاستقرار في دوران الويفر. تسطيح الممتاز والتركيز من الحلقة لاستيراد توحيد الطبقة الفوقية وتقليل العيوب على سطح الرقاقة.

واحدة من مزايا حلقة الجرافيت المغلفة هذه هي سلوك انبعاث الجسيمات المنخفض الذي يقلل من تلوث الويفر أثناء المعالجة. تقوم طبقة SIC بتخفيض الغابات وتوليد جزيئات الكربون مقارنة بمكونات الجرافيت غير المطلية لتحقيق بيئات الغرفة النظيفة ومعدلات العائد المرتفعة. بالإضافة إلى ذلك ، فإن مقاومة الصدمة الحرارية الممتازة للهيكل المركب إطالة عمر المنتج ، وتقلل من تكاليف التشغيل وانخفاض تكاليف التشغيل لمصنعي أشباه الموصلات.

يتم فحص جميع الحلقات السفلية أبعادًا ، وفحص جودة السطح ، واختبار الدورة الحرارية لضمان تلبية الاحتياجات البيئية المهمة لبيئة تصنيع أشباه الموصلات. بالإضافة إلى ذلك ، فإن سمك طلاء السطح SIC هو أكثر من كافٍ لتوافق المحتملة الميكانيكية والحرارية ؛ يتم فحص الطلاء SIC بشكل روتيني لعوامل التصاق ضمان عدم حدوث تقشير أو التقشير عندما تتعرض الحلقات السفلية لترسب درجة الحرارة العالية. يمكن تخصيص الحلقة السفلية المسطحة مع عدد قليل من اختلافات الممتلكات الأبعاد الطفيفة والطلاء لتطبيقات تصميم المفاعل الفردية وتطبيقات المعالجة.

يوفر حلقة أسفل EPI Semicorex 8 بوصة من Semicorex توازنًا ممتازًا بين القوة ، والمقاومة الكيميائية ، والخصائص الحرارية المواتية لأنظمة النمو الفوقي. نظرًا للفوائد المعروفة للجرافيت المطلي بـ SIC ، توفر هذه الحلقة السفلية جودة عالية للرقاقة ، وانخفاض احتمال التلوث ، وعمر خدمة أطول في أي عملية ترسب درجة حرارة عالية. تم تصميم هذه الحلقة السفلية لاستخدامها مع نمو SI أو SIC أو II-V للمواد الفائقة ؛ إنه مصنوع لتوفير راحة موثوقة ومتكررة في إنتاج مواد أشباه الموصلات المتطلبة.