8. بوصة من مؤيدي برنامج التحصين الموسع

SEMICOREX 8 بوصة EPI SOSSOPSOR هو جزء دعم رقاقة عالية التقنية يستخدم في عمليات الترسيب الفوقي لتصنيع أشباه الموصلات. يتم تصنيعها بمواد أساسية للجرافيت داخل الكفاية المطلية بطبقة موحدة سميكة مستمرة من كربيد السيليكون (SIC) المستخدمة في المفاعلات الفوقية حيث يكون الاستقرار الحراري والمقاومة الكيميائية وتوحيد الترسب مهمًا. يتم توحيد القطر 8 بوصة وفقًا لمواصفات الصناعة للمعدات التي تعالج رقائق 200 مم وبالتالي توفر تكاملًا موثوقًا في تعدد المهام الحالية.  

يتطلب النمو الفوقي بيئة حرارية للغاية يتم التحكم فيها وتفاعلات المواد الخاملة نسبيًا. في كلتا الحالتين ، سيتم تنفيذ الجرافيت المطلي SIC بشكل إيجابي. يحتوي جوهر الجرافيت على توصيل حراري مرتفع للغاية وتوسع حراري منخفض للغاية ، وهذا يعني مع مصدر تسخين مصمم بما فيه الكفاية بأن الحرارة من قلب الجرافيت يمكن نقلها بسرعة والحفاظ على تدرجات درجة حرارة متسقة عبر سطح الرقاقة. الطبقة الخارجية من SIC هي في الواقع القشرة الخارجية من الحساس. تحمي طبقة SIC قلب الحاسوب من درجات حرارة عالية ، والمنتجات الثانوية التآكل لغاز العملية مثل الهيدروجين ، والخصائص المتآكلة للغاية للسيلان المكلور ، والتدمير الميكانيكي بسبب الطبيعة التراكمية للارتداء الميكانيكي الناتج عن دورات التدفئة المتكررة. بشكل عام ، يمكننا أن نتنبأ بشكل معقول أنه طالما أن بنية المادة المزدوجة تكون سميكة بما فيه الكفاية ، فسيظل الحساس سليماً ميكانيكياً وهم خامل كيميائيًا في فترات التدفئة المطولة. بشكل قاطع ، لاحظنا هذا بشكل تجريبي عند العمل ضمن النطاقات الحرارية ذات الصلة ، وتوفر طبقة SIC حاجزًا موثوقًا بين العملية ونواة الرسومات ، مما يزيد من فرص جودة المنتج مع زيادة طول خدمة الأدوات.

تحتوي مكونات الجرافيت على جزء أساسي ومهم بشكل لا يصدق في عمليات تصنيع أشباه الموصلات ، وجودة مواد الجرافيت هي عامل مهم في أداء المنتج. في Semicorex ، لدينا تحكم صارم في كل خطوة من عملية الإنتاج الخاصة بنا حتى نتمكن من الحصول على تجانس مواد قابلة للتكرار واتساق من الدُفعة إلى الدفعة. من خلال عملية إنتاج الدُفعات الصغيرة الخاصة بنا ، لدينا أفران كربنة صغيرة بحجم غرفة يبلغ 50 مترًا مكعبًا فقط ، مما يتيح لنا الحفاظ على أدوات تحكم أكثر تشددًا في عملية الإنتاج. تخضع كل كتلة من الجرافيت للمراقبة الفردية ، ويمكن تتبعها طوال عمليتنا. بالإضافة إلى مراقبة درجة الحرارة متعددة النقاط داخل الفرن ، فإننا نتتبع درجة الحرارة على سطح المادة ، مما يقلل من انحرافات درجة الحرارة إلى نطاق ضيق للغاية طوال عملية الإنتاج. يسمح لنا اهتمامنا بالإدارة الحرارية بتقليل الإجهاد الداخلي وإنتاج مكونات الجرافيت المستقرة للغاية والقابلة للتكرار لتطبيقات أشباه الموصلات.

يتم تطبيق طلاء SIC عبر ترسب البخار الكيميائي (CVD) ، وينتج سطحًا نهائيًا صلبًا ونظيفًا مع مصفوفة حبة دقيقة تقلل من توليد الجسيمات ؛ وبالتالي ، يتم تعزيز عملية CVD النظيفة. يضمن التحكم في عملية الأمراض القلبية الوعائية لسمك الفيلم المطلي التوحيد وهو مهم للتسطيح والاستقرار الأبعاد من خلال ركوب الدراجات الحرارية. يوفر هذا في نهاية المطاف مخطوطة رقاقة ممتازة ، مما يؤدي إلى ترسب الطبقة الأكثر حتى خلال عملية Epitaxy.-معلمة رئيسية لتحقيق أجهزة أشباه الموصلات عالية الأداء مثل MOSFETs و IGBTs ومكونات RF.

الاتساق الأبعاد هو ميزة أساسية أخرى من حساس EPI 8 بوصة المصنعة بواسطة semicorex. تم تصميم الحساس إلى التحمل الصارم مما يؤدي إلى توافق كبير مع روبوتات معالجة الرقاقة ودقة في مناطق التدفئة. يتم تلميع سطح الحاسوب وتخصيصه في الظروف الحرارية والتدفق الخاصة بالمفاعل الفوقي المحدد الذي سيتم نشره إلى. يمكن أن تتم مطابقة الخيارات ، على سبيل المثال ، فتحات الدبوس ، أو استراحة الجيب أو الأسطح المضادة للانزلاق مع المتطلبات المحددة لتصميم وعمليات أدوات OEM.

يخضع كل حسس اختبارات متعددة لكل من الأداء الحراري وسلامة الطلاء أثناء الإنتاج. يتم تطبيق طرق مراقبة الجودة بما في ذلك القياس الأبعاد والتحقق منه ، واختبارات التصاق الطلاء ، واختبارات مقاومة الصدمات الحرارية ، واختبارات المقاومة الكيميائية لضمان تحقيق الموثوقية والأداء حتى في البيئات الفوقية العدوانية. والنتيجة هي منتج يلتقي في النهاية ويتجاوز المتطلبات الحالية الصعبة لصناعة تصنيع أشباه الموصلات.

Semicorex 8 بوصة EPI Secrosport مصنوع من الجرافيت المغلفة SIC الذي يوازن الموصلية الحرارية ، والصلابة الميكانيكية ، والختام الكيميائي. يعد Sountor 8 بوصة مكونًا رئيسيًا لتطبيقات نمو Epitaxy عالية الحجم بسبب نجاحه في إنتاج دعم مستقر ونظيف في درجات حرارة عالية مما يؤدي إلى ارتفاع العائد ، وعالي التسمم المحدد. يشيع حجم بحجم 8 بوصات من حساس برنامج التحصين الموسع (EPI) بشكل شائع في المعدات القياسية 8 بوصة في السوق وقابلة للتبديل مع معدات العملاء الحالية. في تكوينه القياسي ، يكون EPI Socpceptor قابلًا للتخصيص بشكل كبير.