حلقة أعلى 8 بوصة EPI

Semicorex 8 Inpi Top Ring هي مكون متخصص في أنظمة ترسب الفوقية (EPI) التي توفر أداءً عالياً مثل حلقة الغطاء العلوية على غرفة التفاعل. مع التركيز على النزاهة الهيكلية والاستقرار الحراري أثناء النمو الفوقي لرقائق أشباه الموصلات ، يتكون حلقة العليا EPI من الجرافيت عالي النقاء ومغلفة مع كربيد السيليكون (SIC) لتحمل درجة الحرارة والبيئات التفاعلية كيميائيا لتصنيع أشباه الموصلات.

في المفاعلات الفوقية ، تساعد الحلقة العلوية على الاحتفاظ ببيئة الرقاقة وتلعب دورًا مهمًا في توحيد درجة الحرارة وتدفق الغاز أثناء الترسب كجزء من مجموعة Sountor. يوفر طلاء SIC على ركيزة الجرافيت حلقة TOP EPI مع الاستقرار الحراري والبيئة الخاملة المطلوبة لحماية جوهر الجرافيت بسبب التعرض لغازات العمليات أثناء أداء حلقة العليا EPI (الهيدروجين ، السيلان ، كلوروسيلان ، إلخ). تعزز صلابة وموصلية طبقة SIC أداء حلقة TOP EPI من خلال منع التدهور والسماح لطبقات أكثر استقرارًا خلال دورة الإنتاج.

مع الالتزام بدقة الأبعاد ، واتساق الطلاء ، والتكرار ، يتم تصنيع الحلقة العليا EPI 8 بوصة مع الهندسة الدقيقة. تم تصنيع الركيزة الجرافيت على التحمل الضيق وتنقيتها حرارياً لفصل الشوائب ، مما يوفر ركيزة نظيفة بنقاء وقوة ممتازة. يتم تطبيق طلاء SIC من خلال ترسب البخار الكيميائي (CVD) ، لتشكيل طبقة واقية كثيفة ومتسقة ومرتعدة بقوة. تقلل هذه العملية من توليد الجسيمات وتسمح للطلاء بالحفاظ على سلامة السطح أثناء الاستخدام الممتد.

يعتمد مصنعو أشباه الموصلات على حلقة EPI Top للحفاظ على معلمات الغرفة الحرجة ودعم الرقاقات الخالية من العيوب أثناء الإنتاج. تم تصميم التكوين للاستخدام مع أنظمة معالجة الرقاقة 8 بوصة الرائدة. تتوفر الخيارات المخصصة للسمك ، والتشطيب السطحي ، والتصاميم المثيرة للاختراق لإدارة حرارية أفضل أو حتى توزيع الغاز.

إن مطابقة خصائص الجرافيت المغلفة SIC لهذا التطبيق يأخذ مزيجًا من أفضل الخصائص من كلتا المادتين ؛ الجرافيت قابل للآلة للغاية وله مقاومة للصدمة الحرارية جنبًا إلى جنب مع كربيد السيليكون وهو أكثر صعوبة ومقاومة للتآكل ولديه عمر خدمة أطول. يمنحك هذا المزيج في نهاية المطاف حلقة أعلى من EPI موثوقة عند درجة حرارة عالية ، وتضمن بيئة معالجة نظيفة ومستقرة تقلل من فترات الصيانة ، وتوفر وقتًا محسّنًا بشكل عام.

تلعب مكونات الجرافيت دورًا لا غنى عنه وحاسم في تصنيع أشباه الموصلات. تؤثر جودة مادة الجرافيت بشكل كبير على جودة المنتج النهائي. يتم التحكم في اتساق الدُفعة الجرافيتية وتجانس المواد وضمانه خلال عملية الإنتاج.

1. الإنتاج الدقاذ ، باستخدام فرن كربنة صغير بسعة 50 مترًا مكعبًا فقط.

2. يتم مراقبة كل قطعة من المواد وتتبعها.

3. مراقبة درجة الحرارة في نقاط متعددة داخل الفرن يضمن الحد الأدنى من الاختلافات في درجة الحرارة.

4. مراقبة درجة الحرارة في نقاط متعددة على المادة يضمن الحد الأدنى من الاختلافات في درجة الحرارة.

توفر حلقة EPI العلوية بحجم 8 بوصات من SEMICOREX أداءً استثنائياً ، واتساقًا دفعًا إلى دفعة ، وموثوقية مثبتة في أصعب أشباه الموصلات السيليكون ، أو كربيد السيليكون أو غيرها من عمليات Epitaxy المركبة. في كل خطوة تصنيع ، ننتج منتجات مع مراقبة الجودة ، مما يعني أن كل منتج تم شراؤه لصناعة أشباه الموصلات يتجاوز مواصفات الجودة.

حدد حلقة TOP من Semicorex 8 بوصة لتطبيق Epitaxy الخاص بك للاستفادة من الاحتمالات المقدمة من خلال الهندسة الدقيقة والمواد المتفوقة والتخصيص الخاص بالتطبيق لتحسين العائد وأداء الجهاز.