8 بوصة حلقات رقاقة

تعتبر حلقات حلقات رقاقة Semicorex 8 بوصة من أجهزة معالجة أشباه الموصلات المتطورة التي تهدف إلى تأمين ودعم رقائق السيليكون بأمان من خلال عمليات حرارية وحفر وترسب مهمة. شيدت من الجرافيت عالي الجودة مع كثافةطلاء كربيد السيليكون (كذا)بالنسبة إلى قوة إضافية ، تعطي حلقة حامل الرقاقة الاستقرار الحراري المتفوق ، والمقاومة الكيميائية ، والقوة الميكانيكية ، مما يجعلها مثالية للاستخدام في البيئات ذات درجة الحرارة العالية والمتآمرية مثل CVD (ترسب البخار الكيميائي) ، PECVD ، وأنظمة epitaxy.

الميزات الرئيسية:

تكوين المواد:

مادة الركيزةالجرافيت عالي النقاء، والتي يتم اختيارها للتوصيل الحراري العالي والتجانس الهيكلي. كثافة عالية وموحدةطلاء فيلم سيليكون كربيد (SIC)يتم تطبيقه على السطح ، ويظهر مقاومة عالية للأكسدة والهجوم الكيميائي حتى في درجات حرارة مرتفعة تتجاوز 1000 درجة مئوية. يحتوي الخليط على مدة صلاحية طويلة المدة والحد الأدنى من خطر تلوث الرقاقات.

تحديد موقع رقاقة آمن

مصممة بشكل خاص لعقد رقائق بحجم 8 بوصات (200 ملم) ، وتحمل حلقة حامل الرقاقة التحمل الدقيق والهندسة الداخلية المصممة على النحو الأمثل لقبض على الرقاقة بشكل آمن. تظل الحلقة مستقرة في الموضع أثناء ركوب الدراجات الحرارية وتدفق الغاز ، مما يقلل من الحركة الدقيقة التي قد تؤدي إلى خلق الجسيمات أو كسر الرقاقة.

التوحيد الحراري:

يضمن الموصلية الحرارية المتأصلة لركيزة الجرافيت واستقرار طلاء SIC نقل الحرارة المتسق على سطح الرقاقة. ينتج عن هذا نتائج عملية ثابتة ، وتقليل الإجهاد الحراري ، وعائد الجهاز الأفضل.

مقاومة المواد الكيميائية والبلازما:

يحمي سطح SIC قلب الجرافيت من البلازما القاسية والغازات ، مما يوفر مقاومة لدورات العملية المتكررة. الصخور الكيميائية مفيدة بشكل خاص في بيئات الغازات المحتوية على الهالوجين المحتوية على الهالوجين.

التخصيص المتاح:

قد يتم تصميم حلقات عازف 8 بوصة مخصصة لتلبية متطلبات المعدات أو العملية المحددة ، أي الاختلافات في تصميم دعم الحافة ، وموقع الفتحات ، وتكوين التثبيت. يعمل مصممونا مع OEMs و FABs لتوفير أعلى أداء ممكن لكل استخدام.

التطبيقات:

• LPCVD / PECVD / APCVD
• عمليات النمو الفوقي
• أفران الانتشار
• ارتفاع درجة الحرارة الصلب
• أنظمة المعالجة الحرارية أشباه الموصلات الأخرى

يخضع كل حلقات من حلقات رقاقة 8 بوصات لتفتيش صارم مثل التحقق من دقة البعد ، واختبار التصاق الطلاء ، وتأهل ركوب الدراجات الحرارية. تضمن تقنية التصنيع المتقدمة لدينا سماكة طلاء موحدة وأرقى السطح للوفاء بمتطلبات صناعة أشباه الموصلات المرتفعة.

تعتبر حلقات حلقات رقاقة Semicorex 8 بوصة (الجرافيت المغطى بالكيك) من المعدات الأساسية لإنتاج أشباه الموصلات من الجيل التالي ، مما يوفر الدقة الميكانيكية ، ومتانة المواد ، والاستقرار الكيميائي. من ترقيات معدات العمليات إلى بناء منصات الرقاقة من الجيل التالي ، يوفر هذا المنتج الموثوقية والأداء اللازمة لتمكين بيئات الإنتاج المتطلبة اليوم.