حاملة الجرافيت للمفاعلات الفوقية

حامل الجرافيت شبه الداكن للمفاعلات الفوقية هو مكون هندسي للترسب الفوقي لتصنيع أشباه الموصلات. حاملة الجرافيت مصنوعة من الجرافيت نقاء عالي ومغلفة مع SIC. يأتي هذا الناقل مع العديد من المزايا التي تقلل من المسؤولية وارتداء المسيل للدموع وتوفير استقرار كيميائي أفضل عندما تكون في بيئات تآكل وأيضًا في درجات حرارة عالية. توفر المسامية الدقيقة الكثيفة على السطح السفلي توزيعات موحدة للغاز عبر سطح الرقاقة أثناء النمو الذي يجب أن يكون دقيقًا بما يكفي لإنتاج طبقات بلورات خالية من العيوب.

يتم تركيز الناقل المغلفة SIC على مفاعلات الحالة الفائقة الأفقية أو الرأسية ، سواء كانت دفعة أو رقاقة واحدة. يحمي طلاء كربيد السيليكون الجرافيت ، ويحسن الأسماء ED مقاومة الحفر ، ومقاومة للأكسدة ، وأيضًا الصدمة الحرارية مقارنةً بجرافيت غير مصممة ثورة في أن مشغلي النهج يجب على/استثمارهم باستخدام الوقت الضخم الذي يضيع/جعل الصيانة/الاستبدال المكثفة مع الناقل ذي عمر أقل من خدمة خدمة أقل على كل مرحلة من مراحل الحرارية ؛ إن تسريع الصيانة من الدلو أو البوليمرات ذات السمعة الطيبة التي يمكن أن يتم استبدالها مع الناقل مع كل شيء آخر ؛ لزيادة الكفاءة التشغيلية بدلاً من ذلك قبل الولادة أو لكل صيانة مجدولة.

تم تصنيع الركيزة الجرافيت الأساسية من الحبوب فائقة الكثافة ، ومواد عالية الكثافة ، مما يوفر الاستقرار الميكانيكي المدمج والاستقرار الأبعاد تحت التحميل الحراري الشديد. يمكن إضافة طلاء SIC ثابت ودقيق إلى طبقة الكربون باستخدام ترسب البخار الكيميائي (CVD) ، والذي يوفر معًا طبقة عالية الكثافة وسلسة وحاد وخالية من الثقب مع رابطة سطحية قوية. يمكن أن يعني هذا التوافق الجيد مع غازات العملية وحالة المفاعل ، وكذلك تقليل التلوث وعدد أقل من الجزيئات التي يمكن أن تؤثر على عائد الرقاقة.

يتم التخطيط لموقع الفتحة الدقيقة والتباعد والهيكل في أسفل الناقل لتعزيز تدفق الغاز الأكثر كفاءة وموحدة من قاعدة المفاعل من خلال ثقوب حاملة الجرافيت إلى الرقاقات فوقه. يمكن أن يغير تدفق الغاز الموحد من قاعدة المفاعل التحكم بشكل كبير في عملية السمك وملفات تعريف المنشطات في ناقلات الجرافيت لعمليات النمو الفوقي ، وخاصة في أشباه الموصلات المركبة الغازية مثل SIC أو GAN حيث تكون الدقة والتكرار أمرًا بالغ الأهمية. علاوة على ذلك ، فإن مواصفات كثافة الثقب ونمطها قابلة للتخصيص بشكل كبير ، ويحددها تصميم المفاعل لكل شركة ، ويستند بنية التثقيب على مواصفات العملية.

تم تصميم ناقلات الجرافيت Semicorex وتصنيعها مع قسوة بيئة العملية الفوقية في الاعتبار. يوفر Semicorex تخصيصًا لجميع الأحجام وأنماط الثقب والسماكة المطلية لدمجها بسلاسة في أجهزتك الحالية. تضمن قدرتنا الداخلية على تصنيع شركات النقل ، ومراقبة الجودة الصارمة أداءً دقيقًا وقابل للتكرار ، وحلول نقاء عالية ، وموثوقية تطلبها شركات تصنيع أشباه الموصلات الرائدة اليوم.