حساس الكواكب

يعد Semicorex Planetary Sountory مكونًا لا غنى عنه لمفاعلات Epitaxy أشباه الموصلات ، وتم تصميمه على وجه التحديد لمعدات Aixtron G5+. شيدت من الجرافيت عالي النقاء ومغلف مع كربيد السيليكون (كذا)، يضمن هذا الحساس الاستقرار الحراري المتفوق ، والمقاومة الكيميائية الاستثنائية ، والأداء الذي لا مثيل له في بيئات درجات الحرارة العالية.

يقف مفاعل Aixtron G5+ Epitaxy بمثابة معيار في الصناعة لعمليات نمو أشباه الموصلات GAN و SIC وغيرها من الموصلات. يعتبر حسس الكوكب محوريًا في تحسين تدفق الغاز ، مما يضمن دوران الويفر الدقيق ، والحفاظ على التحكم الدقيق في درجة الحرارة ، وتحقيق ترسب موحد للطبقات الفوقية. يعزز تصميمه المبتكر بشكل كبير تكرار العملية ، مما يجعله الخيار المثالي لبيئات الإنتاج عالية الحجم.

الميزات الرئيسية  

- تكوين المواد المتقدمة: مصنوعة من الجرافيت عالي النقاء مع طلاء SIC ، مما يوفر المتانة المحسنة والمقاومة لظروف العملية القاسية.  

- الأداء الحراري المحسّن: يضمن توزيع الحرارة الموحدة ، وهو أمر حاسم لنمو الطبقة الفوقية عالية الدقة.  

- المقاومة الكيميائية: يمنع طلاء SIC أكسدة الجرافيت ، ويمتد عمر الحاسوب والحفاظ على نقاء العملية.  

- هندسة الدقة: مصممة لتلبية المتطلبات الصارمة لأنظمة Aixtron G5+ ، مما يضمن التكامل السلس وكفاءة المفاعل الأمثل.  

- توحيد السطح العالي: يقلل من تلوث الجسيمات ، ودعم جودة الرقاقة الفائقة والعائد الأعلى في تصنيع أشباه الموصلات.  

مزايا حساس الكواكب لدينا  

- خدمة الخدمة الممتدة:طلاء كذايقلل بشكل كبير من البلى ، مما يؤدي إلى انخفاض تردد الاستبدال وخفض التكاليف التشغيلية.  

- تحسين استقرار العملية: يضمن التدفئة المتسقة والحد الأدنى من التدرجات الحرارية ، مما يؤدي إلى إنتاج رقاقة عالي الجودة.  

- التوافق والتخصيص: متوفر في التصميمات القياسية والمخصصة لتلبية متطلبات عملية Aixtron G5+ محددة.  

الجرافيتتلعب الأجزاء دورًا لا غنى عنه وهام في عملية أشباه الموصلات. جودة مواد الجرافيت لها تأثير كبير على جودة المنتجات النهائية. يمكن التحكم في اتساق الدفعة الجرافيت وتجانس المواد وضمانه من خلال عملية الإنتاج.

1. إنتاج الدُفعات الصغيرة ، يستخدم فرن الكربنة فرنًا صغيرًا فقط مع 50 مترًا مكعبًا فقط

2. تتم مراقبة كل قطعة من المواد وتتبعها

3. مراقبة درجة الحرارة متعددة النقاط في مساحة الفرن لضمان الحفاظ على اختلاف درجة الحرارة في نطاق صغير جدًا

4. مراقبة درجة الحرارة متعددة النقاط على المادة لضمان الحفاظ على اختلاف درجة الحرارة في نطاق صغير جدًا

SEMICOREX Planetary Sumpceptor هو الحل المتميز لمفاعلات AIXTRON G5+ ، مما يوفر الاستقرار الحراري المتميز ، والمقاومة الكيميائية ، وأداء الدقة. تم تصميمه لعمليات تصنيع أشباه الموصلات الأكثر تطلبًا ، فهو يدفع عائدات رقاقة أعلى ، ويقلل من مخاطر التلوث ، ويمتد عمر المعدات. قم بترقية نظام Epitaxy الخاص بك مع شباك من الدرجة العليا لنتائج لا مثيل لها.