لوحة الأقمار الصناعية

لوحة الأقمار الصناعية Semicorex هي حاملة رقاقة حيوية أثناء عملية النمو الفوقي ، مما يضمن ترسبًا موحدًا وكفاءة العملية الأمثل. تم تصميم هذه اللوحة من الجرافيت عالي النقاء ومغلفة بطبقة قوية للسيليكون (SIC) ، وتوفر هذه اللوحة الاستقرار الحراري الاستثنائي ، والمقاومة الكيميائية ، والقوة الميكانيكية ، وتصلب وضعها كمكون لا غنى عنه في تصنيع أشباه الموصلات عالي الأداء.

مع قاعدة جرافيت عالية النقاء ، تتفوق لوحة الأقمار الصناعية في الموصلية الحرارية والسلامة الهيكلية. الطلاء كذايعزز بشكل كبير متانته ، مما يوفر مقاومة عالية الحرارة ، والختام الكيميائي ، وتقليل توليد الجسيمات بشكل كبير. تضمن هذه المجموعة القوية أن اللوحة تحمل ظروف المعالجة القاسية بينما تؤدي باستمرار على مستوى عالٍ. تسهل قاعدة الجرافيت نقل الحرارة الفعال ، مما يضمن توزيع درجة حرارة موحدة عبر الرقاقة ، في حين أن طلاء SIC يحمي من غازات العملية التآكل ، ومنع التلوث وتوسيع عمر الخدمة. بالإضافة إلى ذلك ، يقلل سطح SIC من إطلاق الجسيمات ، وهو أمر بالغ الأهمية لتحقيق تصنيع أشباه الموصلات عالية الغلة.

تم تصميم لوحة الأقمار الصناعية المصممة خصيصًا للتكامل السلس مع أنظمة Aixtron G5+ ، وتضمن تحديد موقع رقاقة دقيق وتوازن الدوران ، وهو ضروري للحفاظ على الظروف الحرارية المستقرة وتقليل معدلات العيوب. لا يمتد تركيبة المواد المتقدمة للوحة فقط عمر الخدمة ، بل يقلل أيضًا من تكاليف التشغيل بشكل كبير ويعزز إنتاجية التصنيع.

تستخدم في المقام الأول في عملية ترسيب البخار الكيميائي العضوي المعدني (MOCVD) ، وهي لوحة الأقمار الصناعية أمر بالغ الأهمية لزراعة الطبقات الفوقية على رقائق أشباه الموصلات. يلعب دورًا رئيسيًا في إنتاج أجهزة أشباه الموصلات المتقدمة ، بما في ذلك LEDs ، و SIC و Electronics المستندة إلى GAN ، والمكونات الضوئية والإلكترونية ، وأجهزة RF عالية التردد. من خلال ضمان الظروف الحرارية المستقرة وتقليل التلوث ، يضمن لوحة الأقمار الصناعية نمو الطبقة الفوقية المتسقة ، مما يؤدي إلى تحسين معالجة الويفر ومعدلات العائد المرتفعة. يضمن تصميمه المحسن دعم الويفر بكفاءة ، مما يقلل من العيوب وضمان الدقة في مراحل معالجة أشباه الموصلات.

تعمل لوحة الأقمار الصناعية semicorex كمكون أساسي لمفاعلات Aixtron G5+ Epitaxy ، مما يوفر متانة لا مثيل لها ، ومقاومة كيميائية ، والأداء الحراري. إن تكوين المواد المتطورة وهندسةها تجعل من الأهمية بمكان لعملية تصنيع أشباه الموصلات ، مما يضمن إنتاج رقائق العالي عالية الجودة. استثمر في لوحة الأقمار الصناعية لرفع تصنيع أشباه الموصلات وتحقيق التميز في عمليات النمو الفوقي.