قرص الفوقية المطلي بـ SiC

يتميز قرص Epitaxy المطلي بـ Semicorex SiC بمجموعة من المزايا التي لا مثيل لها في صناعة أشباه الموصلات، والتي يمكن تفصيلها بشكل أكبر على النحو التالي:

معامل منخفض للتمدد الحراري: يتميز القرص الفوقي المطلي بطبقة SiC بمعامل منخفض بشكل ملحوظ للتمدد الحراري، وهو أمر بالغ الأهمية في معالجة أشباه الموصلات حيث يكون استقرار الأبعاد ضروريًا. تضمن هذه الخاصية أن القرص الفوقي المطلي بـ SiC يخضع للحد الأدنى من التمدد أو الانكماش تحت تغيرات درجات الحرارة، مما يحافظ على سلامة هيكل أشباه الموصلات أثناء العمليات ذات درجات الحرارة العالية.

مقاومة الأكسدة لدرجات الحرارة العالية: تم تصميم هذا القرص الفوقي المطلي بطبقة SiC بمقاومة أكسدة رائعة، ويحتفظ بسلامته الهيكلية عند درجات حرارة مرتفعة، مما يجعله مكونًا مثاليًا للتطبيقات في عمليات أشباه الموصلات ذات درجة الحرارة العالية حيث يكون الاستقرار الحراري أمرًا بالغ الأهمية.

سطح كثيف ومسامي دقيق: يتميز سطح القرص الفوقي المطلي بـ SiC بكثافته ومساميته الدقيقة، مما يوفر نسيجًا سطحيًا مثاليًا للالتصاق بالطبقات المختلفة ويضمن إزالة المواد بشكل فعال أثناء معالجة رقائق أشباه الموصلات دون الإضرار بالسطح الحساس.

صلابة عالية: يضفي الطلاء مستوى عالٍ من الصلابة على قرص الجرافيت، وهو مقاوم للخدش والتآكل، وبالتالي إطالة عمر خدمة قرص Epitaxy المطلي بـ SiC وتقليل تكرار الاستبدال في بيئات تصنيع أشباه الموصلات.

مقاومة الأحماض والقواعد والأملاح والكواشف العضوية: يوفر طلاء CVD SiC للقرص الفوقي المطلي بـ SiC مقاومة ممتازة لمجموعة واسعة من العوامل المسببة للتآكل، بما في ذلك الأحماض والقواعد والأملاح والكواشف العضوية، مما يجعله مناسبًا للاستخدام في البيئات حيث يعد التعرض للمواد الكيميائية مصدر قلق، مما يعزز موثوقية المعدات وطول عمرها.

الطبقة السطحية Beta-SiC: تتكون الطبقة السطحية SIC (كربيد السيليكون) للقرص الفوقي المطلي بـ SiC من Beta-SiC، الذي يحتوي على بنية بلورية مكعبة مركزية الوجه (FCC). يساهم هذا الهيكل البلوري في الخصائص الميكانيكية والحرارية الاستثنائية للطلاء، مما يوفر قوة فائقة وموصلية حرارية للقرص، وهو أمر ضروري لمعدات معالجة أشباه الموصلات.