جزء مسطح للطلاء

جزء مسطح طلاء SiCOREX هو مكون الجرافيت المغطى بالكيك عالي الأداء SIC مصمم خصيصًا لعملية SIC Epitaxy. تتمثل وظيفتها الأساسية في تسهيل توصيل تدفق الهواء الموحد وضمان توزيع الغاز المتسق أثناء مرحلة النمو الفوقي ، مما يجعله مكونًا لا غنى عنه في تصنيع أشباه الموصلات. يضمن اختيار Semicorex حلولًا فائقة الجودة والهندسة الدقيقة المصممة لصناعة أشباه الموصلات.

يوفر طلاء SIC مقاومة استثنائية لدرجات الحرارة المرتفعة ، والتآكل الكيميائي ، والتشوه الحراري ، مما يضمن أداء طويل الأمد في البيئات الصعبة. تعزز قاعدة الجرافيت السلامة الهيكلية للمكون ، في حين أن طلاء SIC الموحد يضمن سطحًا عاليًا حاسمًا لعمليات epitaxy الحساسة. يجعل هذا المزيج من المواد الجزء المسطح للطلاء SIC حلاً موثوقًا به لتحقيق الطبقات الفوقية الموحدة وتحسين كفاءة الإنتاج الكلية.

يوفر الموصلية الحرارية الممتازة والاستقرار من الجرافيت مزايا كبيرة كمكون في المعدات الفوقية. ومع ذلك ، فإن استخدام الجرافيت النقي وحده يمكن أن يؤدي إلى عدة مشكلات. أثناء عملية الإنتاج ، يمكن أن تتسبب الغازات المسببة للتآكل والمخلفات العضوية المعدنية في تآكل قاعدة الجرافيت وتدهورها ، مما يقلل بشكل كبير من عمر خدمته. بالإضافة إلى ذلك ، يمكن لأي مسحوق الجرافيت الذي يسقط خارجها تلوث الشريحة ، مما يجعل من الضروري معالجة هذه المشكلات أثناء تحضير القاعدة.

يمكن لتكنولوجيا الطلاء أن تخفف بشكل فعال من هذه المشكلات عن طريق إصلاح مسحوق السطح ، وتعزيز الموصلية الحرارية ، وتوازن توزيع الحرارة. هذه التكنولوجيا أمر حيوي لضمان متانة قاعدة الجرافيت. اعتمادًا على بيئة التطبيق ومتطلبات الاستخدام المحددة ، يجب أن يمتلك طلاء السطح الخصائص التالية:

1. الكثافة العالية والتغطية الكاملة: تعمل قاعدة الجرافيت في بيئة عالية درجة الحرارة ، ويجب تغطيتها بالكامل. يجب أن يكون الطلاء كثيفًا لتوفير حماية فعالة.

2. تسطيح السطح الجيد: تتطلب قاعدة الجرافيت المستخدمة في نمو البلورة المفردة تسطيحًا مرتفعًا للغاية. لذلك ، يجب أن تحافظ عملية الطلاء على التسطيح الأصلي للقاعدة ، مما يضمن أن يكون سطح الطلاء موحدًا.

3. قوة الترابط القوية: لتحسين الرابطة بين قاعدة الجرافيت ومواد الطلاء ، من الأهمية بمكان تقليل الفرق في معاملات التمدد الحراري. يضمن هذا التحسين أن يظل الطلاء سليماً حتى بعد خضوعه لدورات حرارية عالية ودرجات حرارة منخفضة.

4. الموصلية الحرارية العالية: لنمو الرقائق الأمثل ، يجب أن توفر قاعدة الجرافيت توزيعًا سريعًا وموحدًا للحرارة. وبالتالي ، يجب أن يكون لمواد الطلاء الموصلية الحرارية العالية.

5. نقطة انصهار عالية ومقاومة للأكسدة والتآكل: يجب أن يكون الطلاء قادرًا على العمل بشكل موثوق في البيئات ذات درجة الحرارة العالية والتآكل.

من خلال التركيز على هذه الخصائص الرئيسية ، يمكن تحسين طول طول وأداء المكونات القائمة على الجرافيت في المعدات الفوقية بشكل كبير.

مع تقنيات التصنيع المتقدمة ، يقدم Semicorex تصميمات مخصصة لتلبية متطلبات العملية المحددة. يتم اختبار الجزء المسطح لطلاء SIC بدقة دقة ومتانة الأبعاد ، مما يعكس التزام Semicorexs بالتميز في مواد أشباه الموصلات. سواء تم استخدامه في إعدادات الإنتاج الضخم أو البحث ، يضمن هذا المكون التحكم الدقيق والعائد العالي في تطبيقات SIC Epitaxy.