كذا الوحدة الفوقية

تعد الوحدة النمطية الفوقية SIC SIC ، المصنوعة من الدرجة المتميزة ، الجرافيت المغلفة SIC ، جزءًا من المعدات الفوقية التي تم تطويرها لتحمل العناصر الأكثر صعوبة في عمليات epitaxy السيليكون (SIC). هذه الوحدة ، المخصصة لدرجة الحرارة العالية في تطبيقات ترسيب البخار الكيميائي (CVD) ، هي عنصر مهم في إظهار الاستقرار والدعم للرقائق أثناء النمو الفوقي لـ SIC عالي الجودة. وحدة SEMICOREX SIC هي مادة أساسية فعالة لإنتاج موثوق ومتكرر للمواد الفوقية بما يتوافق مع مواصفات SIC الجودة.

الوحدة النمطية SIC SEMICOREX عبارة عن ركيزة جرافيت مغطاة بطبقة كثيفة وموحدة من طلاء كربيد السيليكون ومقاومة لتلوث الجسيمات والتآكل حتى في أشد كيمياء العمليات. يحظر طلاء SIC تلوث وتآكل الجرافيت الأساسي ويوفر دعمًا ميكانيكيًا كبيرًا وحماية تصل إلى 1600 درجة مئوية. تجمع وحدة SIC بين قوة الجرافيت وقابلية الآلات مع التآكل الكلي والتآكل والخصائص المقاومة للكيميائية لكربريد السيليكون ، مما يجعلها الأنسب للوحدة من حيث المتانة في جو علوي قاسي.

تم تصميم الوحدة النمطية لتوفير ملف تعريف حراري موحد مع تقليل التغير الأبعاد خلال عملية ركوب الدراجات الحرارية. هذا التوحيد الحراري والاستقرار ضروريان للحفاظ على تسطيح الرقاقة وتوحيد epitaxy. إذا حافظت الرقاقة على موضع مستقر مع توصيل حراري عالي ، فإن الظروف الحرارية عبر الرقاقة أثناء المعالجة ستكون موحدة ، مما يؤثر بشكل إيجابي على العائد والجودة البلورية والوقت المتعلق بفشل جزء أو تلوث.

تتوافق الوحدة النمطية الفوقية SIC مع العديد من المفاعلات الفوقية بما في ذلك الجدار الساخن والجدار البارد ولديها خيار لتخصيصها لتشكيل وأبعاد لاستيعاب تخطيطات مفاعل محددة واحتياجات العملاء. الوحدة النمطية الفوقية SIC مناسبة تمامًا لتطبيقات Epitaxy بحجم 4 بوصات ، و 6 بوصات ، والناشئة بحجم 8 بوصات. بسبب النقاء العالي والهندسة المحسّنة للوحدة الفوقية SIC ، يتم تقليل التداخل المادي في تأثيره على ديناميات تدفق الغاز والتدرجات الحرارية التي تدعم نموًا أكبر للطبقة الفوقية.

تمثل الوحدات الفوقية SIC من Semicorex أعلى قطعة يتم التحكم فيها في التجميع غريب الأطوار. بالإضافة إلى بروتوكولات مراقبة الجودة العالية ، يستخدم Semicorex أحدث طرق للطلاء لتطبيق أفلام SIC الموحدة والكثيفة والخارجية. يتمتع Semicorex بتاريخ طويل من الطلاء الخزفي عالي الأداء ومزايا عملية تحديد عملية تحديد الجرافيت التي توفر أفضل حياة المنتج الممكنة ، والاتساق ، واستقرار العملية من الدُفعة إلى الدُفعة.

في الحقل السريع للأجهزة المتطورة ، حيث تؤثر جودة المواد بشكل مباشر على أداء الجهاز ، فإن الوحدة النمطية الفوقية ليست مجرد مستهلكة-إنها عامل تمكين حاسم. توفر الوحدة النمطية للجرافيت المغلفة من SIC من Semicorex حلاً قويًا وموثوقًا بالعملاء الذين يسعون إلى دفع حدود الكفاءة والعائد وفعالية التكلفة في Epitaxy.