صينية ويفر SiC

تعمل صينية الويفر Semicorex SiC، كعنصر أساسي في جهاز MOCVD، على حمل الركائز البلورية المفردة وإدارتها حراريًا. تعتبر خصائص أدائها الاستثنائية، بما في ذلك الاستقرار الحراري الفائق والتوحيد بالإضافة إلى تثبيط التآكل وما إلى ذلك، ضرورية للنمو عالي الجودة للمواد الفوقي. تضمن هذه السمات التجانس والنقاء المتسقين في طبقات الأغشية الرقيقة.

تعمل صينية ويفر SiC المعززة بطبقة SiC على تحسين التوصيل الحراري بشكل كبير، مما يسهل التوزيع السريع والمتساوي للحرارة وهو أمر حيوي للنمو الفوقي الموحد. تحافظ قدرة صينية رقاقة SiC على امتصاص الحرارة وإشعاعها بكفاءة على درجة حرارة ثابتة وثابتة، وهو أمر ضروري للترسيب الدقيق للأغشية الرقيقة. يعد هذا التوزيع الموحد لدرجة الحرارة أمرًا بالغ الأهمية لإنتاج طبقات فوقية عالية الجودة، والتي تعتبر ضرورية لأداء أجهزة أشباه الموصلات المتقدمة.

يؤدي الأداء الموثوق وطول العمر لصينية رقاقة SiC إلى تقليل تكرار عمليات الاستبدال، مما يقلل من وقت التوقف عن العمل وتكاليف الصيانة. تعمل بنيتها القوية وقدراتها التشغيلية المتفوقة على تعزيز كفاءة العملية، وبالتالي زيادة الإنتاجية وفعالية التكلفة في تصنيع أشباه الموصلات.

بالإضافة إلى ذلك، تتميز صينية الويفر Semicorex SiC بمقاومة ممتازة للأكسدة والتآكل في درجات الحرارة العالية، مما يضمن متانتها وموثوقيتها. إن قدرته على التحمل الحراري العالي، والتي تتميز بنقطة انصهار كبيرة، تمكنه من تحمل الظروف الحرارية الصارمة المتأصلة في عمليات تصنيع أشباه الموصلات.