حلقات CVD SiC الصلبة

سيميكوركس صلبالأمراض القلبية الوعائية كربيديتم تركيب الحلقات عادة داخل غرف التفاعل الخاصة بمعدات الحفر، وتحيط بالظرف الكهروستاتيكي لتكون بمثابة حاجز للعملية ودليل للطاقة. يمكنهم تركيز البلازما داخل الحجرة حول الرقاقة ومنع انتشار البلازما إلى الخارج، وبالتالي توفير مجال طاقة مناسب لعملية النقش الدقيقة. يمكن لمجال الطاقة الموحد والمستقر هذا أن يخفف بشكل فعال المخاطر مثل عيوب الرقاقة، وانجراف العملية، وفقدان إنتاجية جهاز أشباه الموصلات الناتج عن التوزيع غير المتساوي للطاقة وتشوه البلازما عند حافة الرقاقة.

مزايا مادية ممتازة

يتم تصنيع حلقات CVD SiC الصلبة من Semicorex من CVD SiC عالي النقاء، مما يوفر مزايا مادية ممتازة لتلبية المتطلبات الصارمة للنظافة العالية والمقاومة العالية للتآكل في بيئات حفر أشباه الموصلات.

1. درجة نقاء عالية

يمكن أن يتجاوز نقاء حلقات CVD SiC الصلبة من Semicorex 99.9999%، مما يعني أن الحلقات خالية تقريبًا من الشوائب الداخلية. تعمل هذه النقاء الاستثنائي للمواد على تجنب التلوث غير المرغوب فيه لرقائق أشباه الموصلات وغرف العملية من إطلاق الشوائب أثناء عمليات حفر أشباه الموصلات.

2. مقاومة عالية للتآكل

سيميكوركسحلقات CVD SiC الصلبةيمكن أن تحافظ على السلامة الهيكلية واستقرار الأداء حتى عند تعرضها للأحماض والقلويات والبلازما القوية بسبب المقاومة الفائقة للتآكل لـ CVD SiC، مما يجعلها الحلول المثالية لبيئات معالجة النقش القاسية.

3. أداء موثوق للإدارة الحرارية

تتميز CVD SiC بموصلية حرارية عالية والحد الأدنى من معامل التمدد الحراري، مما يجعل حلقات CVD SiC الصلبة من Semicorex تحقق تبديدًا سريعًا للحرارة وتحتفظ بثبات ممتاز للأبعاد أثناء التشغيل.

4. توحيد المقاومة الاستثنائي

توفر حلقات CVD SiC الصلبة من Semicorex تجانسًا استثنائيًا للمقاومة مع RRG <5%.

نطاقات المقاومة: دقة منخفضة. (<0.02 Ω·cm)، دقة متوسطة. (0.2–25 أوم·سم)، دقة عالية. (> 100 أوم · سم).

مراقبة الجودة الدقيقة

تتم معالجة حلقات CVD SiC الصلبة من Semicorex وفحصها وفقًا لمعايير صارمة لتلبية متطلبات الدقة والجودة الصارمة في مجالات أشباه الموصلات والالكترونيات الدقيقة.

المعالجة السطحية: دقة التلميع هي Ra <0.1μm؛ دقة الطحن الدقيقة هي Ra > 0.1μm

يتم التحكم في دقة المعالجة ضمن ≥ 0.03 مم

فحص الجودة: ستخضع حلقات CVD SiC الصلبة من Semicorex لقياس الأبعاد واختبار المقاومة والفحص البصري لضمان خلو المنتج من الرقائق والخدوش والشقوق والبقع والعيوب الأخرى.