قطع الغيار في النمو الفوقي

تعتبر قطع غيار Semicorex في النمو الفوقي بالغة الأهمية، خاصة بالنسبة للعمليات التي تتضمن إعدادات أنابيب الكوارتز. تعتبر هذه الأجزاء ضرورية لتسهيل تدفق الغاز لدفع دوران قاعدة الدرج وضمان التحكم الدقيق في درجة الحرارة طوال عملية النمو الفوقي. تم تصميم قطع غيار سيميكوركس في النمو الفوقي، والمعروفة بالعامية باسم الأجزاء النصفية، بدقة لتحمل درجات الحرارة العالية والبيئات المسببة للتآكل المتأصلة في غرف النمو الفوقي. فهي مصنوعة من كربيد السيليكون (SiC)، وتوفر ثباتًا حراريًا وكيميائيًا استثنائيًا، مما يجعلها الخيار الأمثل لمثل هذه التطبيقات الصعبة. ويضمن استخدام SiC أن هذه الأجزاء قادرة على تحمل الظروف الأكثر تحديًا.

تشبه قطع الغيار في النمو الفوقي شكل الهلال، وهي مصممة لتتلاءم بشكل مريح مع مجموعة أنابيب الكوارتز. يتيح تكوينها الفريد على شكل نصف القمر إمكانية إدخالها وإزالتها من النظام بسهولة، مما يسهل إجراءات الصيانة والاستبدال بكفاءة ودقة.

تخدم قطع الغيار في النمو الفوقي أغراضًا متعددة. أولاً، تساعد في توصيل الغازات الضرورية لعملية النمو الفوقي بشكل متحكم فيه. ومن خلال تنظيم معدلات تدفق الغاز وتوزيعه، فإنها تضمن ترسيبًا موحدًا لمواد أشباه الموصلات على سطح الركيزة، وهو أمر ضروري لتحقيق خصائص المواد المطلوبة وأداء الجهاز.

تساهم قطع الغيار في النمو الفوقي في الحركة الدورانية لقاعدة الدرج داخل غرفة النمو. يعتبر هذا التناوب محوريًا لتعزيز التوزيع المتساوي للمواد المودعة، ومنع تكوين مخالفات أو عيوب في الطبقات الفوقي.