القمر النصف العلوي

Semicorex Halp Half Moon هو حاملة رقاقة شبه دائرية مصممة بدقة لمعدات المعالجة الفوقية. بصفته مكونًا مهمًا في عملية النمو الفوقي ، تم تصميم هذا الجزء لدعم وتثبيت رقائق السيليكون أثناء ترسب البخار الكيميائي عالي الحرارة (CVD). يتم تصنيعه من الجرافيت عالي النقاء ومحمي مع طلاء كربيد سيليكون موحد (SIC) ، ويجمع القمر النصف العلوي بين المتانة الميكانيكية ، والتوصيل الحراري الممتاز ، ومقاومة التآكل الاستثنائية لتلبية متطلبات epitaxy عالية الدقة.

يستمد هذا المنتج اسمه من هندسة نصف القمر المميزة ، والتي تم إنشاؤها لهذا الغرض لمنصات دورانية محددة في مفاعلات الحالة الفائقة المفردة أو المتعددة. لا يسهل شكله الفريد تدفق الغاز الموحد والتوزيع الحراري فحسب ، بل يتيح أيضًا تكاملًا سهلاً في مجموعات التدفئة والدوران الحالية. يضمن التصميم شبه الدائري تحديد موقع الرقاقة الأمثل ، ويقلل من الإجهاد الحراري ، ويلعب دورًا رئيسيًا في تحقيق سماكة الفيلم الفائقة الموحدة عبر سطح الرقاقة بأكمله.

يتضمن منتج نصف القمر العلوي ركيزة من الجرافيت فائقة الدقة بسبب فوائد الأداء المشتركة لهيكل فائق الثبات في درجات حرارة عالية للغاية مقرونة بمقاومة الفشل على الركض المتكرر. لتمديد الاستخدام ، تم تطبيق طلاء SIC الكثيف عالي النقاء بواسطة تقنية ترسب البخار الكيميائي ، وعزل الركيزة الجرافيت من حمض الهيدروكلوريك ، و CL₂ ، و SILANE ، وغيرها من الغازات التآكل. بغض النظر عن ذلك ، فإن طلاء SIC يعزز حياة أكثر متانة وأكثر قابلية للتمديد لكل من منتج نصف القمر العلوي والأجزاء في مجمله مع انخفاض تلوث بيئة الرقاقة ، ويستفيد في نهاية المطاف من محصول العملية وجودة الفيلم.

تم تحديد النهاية السطحية لطبقة SIC وهي مسطحة أو ناعمة لتعزيز نقل الحرارة الثابت إلى الركيزة وتكوين فيلم ثابت. علاوة على ذلك ، فإن طلاء SIC يحسن مقاومة المكون لتوليد الجسيمات وهو عامل رئيسي في تطبيقات أشباه الموصلات الحساسة للعيوب. يوفر معلمات الأداء بما في ذلك انخفاض الغموض والتشوه المنخفض للغاية أعلى من 1200 درجة مئوية مكونات فعالة لدورات التشغيل الطويلة للغاية ، وتقلل من تكاليف التوقف عن النظام وصيانتها.

Semicorex العلوي النصف القمر لا يعلى عليه فيما يتعلق بالتسامح ، وتوحيد الطلاء ، واختيار المواد. نحافظ على مراقبة جودة صارمة في كل خطوة ، من تصنيع الجرافيت ، إلى ترسيب الطلاء SIC ، والتفتيش النهائي ، مع التأكد من أن كل وحدة تلبي المعايير الصارمة المطلوبة لمعدات درجة أشباه الموصلات. علاوة على ذلك ، يتم التعرف على تجربتنا في تخصيص الأشكال الهندسية والسماكة والعلاجات السطحية على جميع أشكال منصات epitaxy تقريبًا.

القمر النصف العلوي مهم للغاية لاستقرار الرقاقة ، والتوحيد الحراري ، والتحكم في التلوث للسيليكون أو مركبة أشباه الموصلات epitaxy. وفقًا لذلك ، فإن Semicorex يستفيد من الخبرة التي لا مثيل لها ، وتكنولوجيا المواد ، واتساق التصنيع لتحقيق توقعات العملاء للحصول على مكونات موثوقة وعالية الأداء.