قارب الويفر العمودي

إن قارب Semicorex Vertical Wafer Boat عبارة عن حامل مصمم خصيصًا للرقائق المتعددة مما يزيد من كفاءة المساحة داخل غرف المعالجة. عادةً ما تكون قوارب الويفر العمودية هذه مستطيلة أو أسطوانية الشكل، ويحتوي كل قارب على فتحات أو جيوب مُجهزة بدقة متباعدة لحمل الرقاقات الفردية بشكل آمن في وضع مستقيم. يتم تصنيع قارب الرقاقة العمودي من كربيد السيليكون (SiC) الذي يوفر مقاومة ممتازة لدرجات الحرارة المرتفعة والمواد الكيميائية المسببة للتآكل والضغط الميكانيكي، مما يجعلها مثالية لحماية الرقاقات من التلف المحتمل.

أثناء تصنيع أشباه الموصلات، تخضع الرقائق للعديد من العمليات المعقدة، بما في ذلك الانتشار، وRTP، والمجالات الحرارية. يلعب قارب الويفر العمودي دورًا حيويًا في تسهيل هذه العمليات من خلال العمل كحامل للرقائق، مما يسمح بالنقل السلس بين المعدات والمراحل المختلفة. يعمل اتجاهه الرأسي على تقليل البصمة داخل غرف المعالجة، وتحسين الإنتاجية، وتمكين التعامل الفعال مع دفعات كبيرة من الرقائق.

يُعد قارب الويفر العمودي Semicorex حجر الزاوية في معالجة أشباه الموصلات، حيث يوفر حلاً قويًا ويمكن الاعتماد عليه للتعامل الآمن مع الرقائق ونقلها خلال مراحل التصنيع المختلفة. ويؤكد تصميمها المتقدم، إلى جانب الخصائص الاستثنائية لـ SiC، على دورها المحوري في إنتاج أجهزة أشباه الموصلات المتطورة.