حاملة رقاقة حاملة

حامل رقاقة النقش semicorex هو منصة دعم للركيزة عالية الأداء مصممة لعمليات تصنيع أشباه الموصلات ، وخاصة لتطبيقات حفر الرقاقة. تم تصميمه مع قاعدة جرافيت عالية النقاء ومغلفة مع ترسب البخار الكيميائي (CVD) كربيد السيليكون (SIC) ، ويوفر حاملة الرقاقة هذه المقاومة الكيميائية الاستثنائية ، والاستقرار الحراري ، والمتانة الميكانيكية ، مما يضمن الأداء الأمثل في بيئات الحفر عالية الدقة.

يتم طلاء حاملة الرقاقة المحفورة بطبقة SIC موحدة ، مما يعزز بشكل كبير مقاومته الكيميائية ضد البلازما العدوانية والغازات التآكل المستخدمة في عملية الحفر. CVD هي التكنولوجيا الرئيسية لإعداد طلاء SIC على سطح الركيزة في الوقت الحاضر. العملية الرئيسية هي أن المواد الخام المتفاعلة في مرحلة الغاز تخضع لسلسلة من التفاعلات الفيزيائية والكيميائية على سطح الركيزة ، وأخيراً تودع على سطح الركيزة لإعداد طلاء SIC. يتم ربط طلاء SIC الذي أعدته تقنية الأمراض القلبية الوعائية بشكل وثيق على سطح الركيزة ، والذي يمكن أن يحسن بشكل فعال مقاومة الأكسدة ومقاومة الاجتثاث للمواد الركيزة ، ولكن وقت ترسب هذه الطريقة طويل ، ويحتوي غاز التفاعل على بعض الغازات السامة.

طلاء كربيد السيليكون CVDتستخدم الأجزاء على نطاق واسع في معدات الحفر ، ومعدات MOCVD ، والمعدات الفوقية SI والمعدات الفوقية ، ومعدات المعالجة الحرارية السريعة وغيرها من الحقول. بشكل عام ، فإن أكبر قطاع سوق من أجزاء طلاء كربيد السيليكون CVD هو معدات الحفر وأجزاء المعدات الفوقية. بسبب انخفاض التفاعل والتوصيل لطلاء كربيد السيليكون CVD إلى غازات الحفر المحتوية على الكلور وتحتوي على الفلور ، يصبح مادة مثالية لتركيز حلقات وأجزاء أخرى من معدات حفر البلازما.أجزاء كذا CVDفي المعدات الحفر تشملتركيز الخواتم, رؤساء دش الغاز، صواني ،حلقات الحافة، إلخ. خذ حلقة التركيز كمثال. يعد Focus Ring مكونًا مهمًا يتم وضعه خارج الرقاقة وفي اتصال مباشر مع الرقاقة. يتم تطبيق الجهد على الحلقة لتركيز البلازما التي تمر عبر الحلقة ، وبالتالي تركيز البلازما على الرقاقة لتحسين توحيد المعالجة. حلقات التركيز التقليدية مصنوعة من السيليكون أو الكوارتز. مع تقدم تصغير الدائرة المتكاملة ، يتزايد الطلب وأهمية عمليات الحفر في تصنيع الدوائر المتكاملة ، وتستمر قوة وطاقة البلازما الحفر.

يوفر طلاء SIC مقاومة فائقة ضد كيمياء البلازما المستندة إلى الفلور (F₂) والكلور (CL₂) ، مما يمنع التدهور والحفاظ على السلامة الهيكلية على الاستخدام المطول. تضمن هذا المتانة الكيميائية أداءً ثابتًا ويقلل من مخاطر التلوث أثناء معالجة الويفر. يمكن تخصيص حامل الرقاقة لأحجام الرقاقة المختلفة (على سبيل المثال ، 200 مم ، 300 مم) ومتطلبات نظام الحفر المحددة. تتوفر تصميمات الفتحات المخصصة وأنماط الثقب لتحسين وضع الرقاقة ، والتحكم في تدفق الغاز ، وكفاءة العملية.

التطبيقات والفوائد

يستخدم حامل الرقاقة المحفور في المقام الأول في تصنيع أشباه الموصلات لعمليات الحفر الجافة ، بما في ذلك حفر البلازما (PE) ، والحفر الأيوني التفاعلية (RIE) ، والحفر الأيوني التفاعلي العميق (DRIE). يتم تبنيه على نطاق واسع في إنتاج الدوائر المتكاملة (ICS) ، وأجهزة MEMS ، وإلكترونيات الطاقة ، والرقصات أشباه الموصلات المركبة. يضمن طلاء SIC القوي نتائج حفر متسقة عن طريق منع تدهور المواد. يوفر مزيج من الجرافيت و SIC متانة طويلة الأجل ، وتقليل تكاليف الصيانة والاستبدال. يقلل سطح SIC الناعم والكثيف من توليد الجسيمات ، مما يضمن عائد الرقاقة العالي وأداء الجهاز المتفوق. تقلل المقاومة الاستثنائية لبيئات الحفر القاسية من الحاجة إلى بدائل متكررة ، مما يؤدي إلى تحسين كفاءة التصنيع.