ناقل النقش لبرنامج المقارنات الدولية المطلي بالرابط SiC

يجب أن تتحمل ناقلات الرقاقات المستخدمة في مراحل ترسيب الأغشية الرقيقة مثل epitaxy أو MOCVD أو معالجة مناولة الرقائق مثل النقش درجات حرارة عالية وتنظيف كيميائي قاسي. توفر Semicorex حامل النقش ICP المطلي SiC عالي النقاوة مقاومة فائقة للحرارة ، وحتى التوحيد الحراري لسمك ومقاومة طبقة epi المتسقة ، ومقاومة كيميائية دائمة. يوفر الطلاء الكريستالي الناعم SiC سطحًا نظيفًا وسلسًا ، وهو أمر بالغ الأهمية في التعامل معه حيث أن الرقاقات الأصلية تتصل بالمستقبل في العديد من النقاط عبر المنطقة بأكملها.

تم تصميم حامل النقش ICP المطلي SiC الخاص بنا لتحقيق أفضل نمط لتدفق الغاز الرقائقي ، مما يضمن توازن المظهر الحراري. هذا يساعد على منع أي تلوث أو انتشار للشوائب ، مما يضمن نمو فائق الجودة على رقاقة الويفر.

اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد عن حامل النقش ICP المطلي بالكربيد SiC.

معلمات ناقل النقش ICP المطلي بـ SiC

ميزات حامل النقش ICP المطلي بالكربيد عالي النقاء

- تجنب التقشير والتأكد من الطلاء على كل الأسطح

مقاومة الأكسدة في درجات الحرارة العالية: مستقرة في درجات حرارة عالية تصل إلى 1600 درجة مئوية

درجة نقاء عالية: مصنوعة من ترسيب البخار الكيميائي CVD تحت ظروف الكلورة في درجات حرارة عالية.

مقاومة التآكل: صلابة عالية ، سطح كثيف وجزيئات دقيقة.

مقاومة التآكل: الكواشف الحمضية والقلوية والملح والعضوية.

- تحقيق أفضل نمط تدفق للغاز الرقائقي

- ضمان اتساق البروفايل الحراري

- منع أي تلوث أو انتشار للشوائب