اختر نظام النقش بالبلازما ICP الخاص بـ Semicorex لعملية PSS من أجل عمليات epitaxy و MOCVD عالية الجودة. تم تصميم منتجنا خصيصًا لهذه العمليات ، مما يوفر مقاومة فائقة للحرارة والتآكل. مع سطح نظيف وسلس ، فإن الناقل الخاص بنا مثالي للتعامل مع الرقائق الأصلية.
يوفر نظام النقش بالبلازما ICP من Semicorex لعملية PSS مقاومة ممتازة للحرارة والتآكل لمعالجة الرقائق وعمليات ترسيب الأغشية الرقيقة. يوفر طلاء الكريستال SiC الدقيق الخاص بنا سطحًا نظيفًا وسلسًا ، مما يضمن التعامل الأمثل مع الرقائق الأصلية.
في Semicorex ، نركز على تقديم منتجات عالية الجودة وفعالة من حيث التكلفة لعملائنا. يتمتع نظام النقش بالبلازما ICP الخاص بنا لعملية PSS بميزة سعرية ويتم تصديره إلى العديد من الأسواق الأوروبية والأمريكية. نهدف إلى أن نكون شريكك على المدى الطويل ، حيث نقدم منتجات عالية الجودة وخدمة عملاء استثنائية.
اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد عن نظام النقش بالبلازما ICP الخاص بنا لعملية PSS.
معلمات نظام النقش بالبلازما ICP لعملية PSS
المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC |
||
خصائص SiC-CVD |
||
هيكل بلوري |
مرحلة FCC β |
|
كثافة |
ز / سم ³ |
3.21 |
صلابة |
صلابة فيكرز |
2500 |
حجم الحبوب |
μ م |
2 ~ 10 |
نقاء كيميائي |
% |
99.99995 |
السعة الحرارية |
J · kg-1 · K-1 |
640 |
درجة حرارة التسامي |
℃ |
2700 |
قوة فيليكسورال |
MPa (RT 4 نقاط) |
415 |
معامل يونغ |
المعدل التراكمي (منحنى 4 نقاط ، 1300 درجة) |
430 |
التمدد الحراري (CTE) |
10-6 ك -1 |
4.5 |
توصيل حراري |
(ث / م ك) |
300 |
ميزات نظام النقش بالبلازما ICP لعملية PSS
- تجنب التقشير والتأكد من الطلاء على كل الأسطح
مقاومة الأكسدة في درجات الحرارة العالية: مستقرة في درجات حرارة عالية تصل إلى 1600 درجة مئوية
درجة نقاء عالية: مصنوعة من ترسيب البخار الكيميائي CVD تحت ظروف الكلورة في درجات حرارة عالية.
مقاومة التآكل: صلابة عالية ، سطح كثيف وجزيئات دقيقة.
مقاومة التآكل: الكواشف الحمضية والقلوية والملح والعضوية.
- تحقيق أفضل نمط تدفق للغاز الرقائقي
- ضمان اتساق البروفايل الحراري
- منع أي تلوث أو انتشار للشوائب