منتجات

ICP السيليكون الجرافيت المطلي بالكربون

ICP السيليكون الجرافيت المطلي بالكربون

الجرافيت المطلي بالكربون السيليكوني ICP من Semicorex هو الخيار المثالي للمطالبة بعمليات معالجة الرقائق وترسيب الأغشية الرقيقة. يتميز منتجنا بمقاومة فائقة للحرارة والتآكل ، وتوحيد حراري حتى ، وأنماط تدفق غاز رقائقي مثالية.

إرسال استفسار

وصف المنتج

يجب أن تتحمل ناقلات الرقاقات المستخدمة في معالجة النمو فوق المحور درجات حرارة عالية وتنظيف كيميائي قاسي. تم تصميم مستشعرات الجرافيت المطلية بالكربون من سيميكوركس ICP خصيصًا لتطبيقات معدات epitaxy المتطلبة. تم تصميم منتجنا لتحمل درجات الحرارة العالية والتنظيف الكيميائي القاسي ، مما يضمن طول العمر والنتائج المثلى.
تم تصميم الجرافيت المطلي بالكربون السيليكوني ICP لتحقيق أفضل نمط لتدفق الغاز الرقائقي ، مما يضمن توازن المظهر الحراري. هذا يساعد على منع أي تلوث أو انتشار للشوائب ، مما يضمن نمو فائق الجودة على رقاقة الويفر.
اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد عن الجرافيت المطلي بالكربون السيليكوني ICP.


معلمات الجرافيت السيليكون المطلي بالكربون ICP

المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC

خصائص SiC-CVD

هيكل بلوري

مرحلة FCC β

كثافة

ز / سم ³

3.21

صلابة

صلابة فيكرز

2500

حجم الحبوب

μ م

2 ~ 10

نقاء كيميائي

%

99.99995

السعة الحرارية

J · kg-1 · K-1

640

درجة حرارة التسامي

2700

قوة فيليكسورال

MPa (RT 4 نقاط)

415

معامل يونغ

المعدل التراكمي (منحنى 4 نقاط ، 1300 درجة)

430

التمدد الحراري (CTE)

10-6 ك -1

4.5

توصيل حراري

(ث / م ك)

300


ميزات الجرافيت المطلي بالكربون السيليكون ICP

- تجنب التقشير والتأكد من الطلاء على كل الأسطح

مقاومة الأكسدة في درجات الحرارة العالية: مستقرة في درجات حرارة عالية تصل إلى 1600 درجة مئوية

درجة نقاء عالية: مصنوعة من ترسيب البخار الكيميائي CVD تحت ظروف الكلورة في درجات حرارة عالية.

مقاومة التآكل: صلابة عالية ، سطح كثيف وجزيئات دقيقة.

مقاومة التآكل: الكواشف الحمضية والقلوية والملح والعضوية.

- تحقيق أفضل نمط تدفق للغاز الرقائقي

- ضمان اتساق البروفايل الحراري

- منع أي تلوث أو انتشار للشوائب





الكلمات الساخنة: ICP السيليكون الجرافيت المطلي بالكربون ، الصين ، المصنعين ، الموردين ، المصنع ، حسب الطلب ، السائبة ، المتقدمة ، المتينة

الفئة ذات الصلة

إرسال استفسار

لا تتردد في تقديم استفسارك في النموذج أدناه. سوف نقوم بالرد عليك خلال 24 ساعة.
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept