ICP السيليكون المطلي بالكربون الجرافيت

يعتبر الجرافيت المطلي بالكربون السيليكوني من Semicorex هو الخيار المثالي لمعالجة الرقاقات المطلوبة وعمليات ترسيب الأغشية الرقيقة. يتميز منتجنا بمقاومة فائقة للحرارة والتآكل، وحتى التجانس الحراري، وأنماط تدفق الغاز الصفائحي المثالية.

إرسال استفسار

وصف المنتج

يجب أن تتحمل حاملات الرقاقة المستخدمة في معالجة النمو الفوقي درجات حرارة عالية وتنظيفًا كيميائيًا قاسيًا. تم تصميم مستقبلات الجرافيت المطلية بالكربون والسيليكون Semicorex ICP خصيصًا لتطبيقات المعدات الفوقية الصعبة. تم تصميم منتجنا ليتحمل درجات الحرارة المرتفعة والتنظيف الكيميائي القاسي، مما يضمن طول العمر والحصول على أفضل النتائج.
تم تصميم الجرافيت المطلي بالكربون السيليكوني الخاص بنا من ICP لتحقيق أفضل نمط لتدفق الغاز الصفحي، مما يضمن تساوي المظهر الحراري. وهذا يساعد على منع انتشار أي تلوث أو شوائب، مما يضمن نموًا فوقيًا عالي الجودة على شريحة الويفر.
اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد عن الجرافيت المطلي بالكربون والسيليكون ICP.

معلمات الجرافيت المطلي بالكربون السيليكوني ICP

المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC
خصائص SiC-CVD
الهيكل البلوري	المرحلة FCC β
كثافة	جم/سم ³	3.21
صلابة	صلابة فيكرز	2500
حجم الحبوب	ميكرومتر	2~10
النقاء الكيميائي	%	99.99995
القدرة الحرارية	ي كغ-1 ك-1	640
درجة حرارة التسامي	℃	2700
قوة العطف	ميجا باسكال (RT 4 نقاط)	415
معامل يونغ	المعدل التراكمي (انحناء 4pt، 1300 درجة مئوية)	430
التمدد الحراري (C.T.E)	10-6 ك-1	4.5
الموصلية الحرارية	(ث / م ك)	300