الجرافيت المطلي بالكربون السيليكوني ICP من Semicorex هو الخيار المثالي للمطالبة بعمليات معالجة الرقائق وترسيب الأغشية الرقيقة. يتميز منتجنا بمقاومة فائقة للحرارة والتآكل ، وتوحيد حراري حتى ، وأنماط تدفق غاز رقائقي مثالية.
يجب أن تتحمل ناقلات الرقاقات المستخدمة في معالجة النمو فوق المحور درجات حرارة عالية وتنظيف كيميائي قاسي. تم تصميم مستشعرات الجرافيت المطلية بالكربون من سيميكوركس ICP خصيصًا لتطبيقات معدات epitaxy المتطلبة. تم تصميم منتجنا لتحمل درجات الحرارة العالية والتنظيف الكيميائي القاسي ، مما يضمن طول العمر والنتائج المثلى.
تم تصميم الجرافيت المطلي بالكربون السيليكوني ICP لتحقيق أفضل نمط لتدفق الغاز الرقائقي ، مما يضمن توازن المظهر الحراري. هذا يساعد على منع أي تلوث أو انتشار للشوائب ، مما يضمن نمو فائق الجودة على رقاقة الويفر.
اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد عن الجرافيت المطلي بالكربون السيليكوني ICP.
معلمات الجرافيت السيليكون المطلي بالكربون ICP
المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC |
||
خصائص SiC-CVD |
||
هيكل بلوري |
مرحلة FCC β |
|
كثافة |
ز / سم ³ |
3.21 |
صلابة |
صلابة فيكرز |
2500 |
حجم الحبوب |
μ م |
2 ~ 10 |
نقاء كيميائي |
% |
99.99995 |
السعة الحرارية |
J · kg-1 · K-1 |
640 |
درجة حرارة التسامي |
℃ |
2700 |
قوة فيليكسورال |
MPa (RT 4 نقاط) |
415 |
معامل يونغ |
المعدل التراكمي (منحنى 4 نقاط ، 1300 درجة) |
430 |
التمدد الحراري (CTE) |
10-6 ك -1 |
4.5 |
توصيل حراري |
(ث / م ك) |
300 |
ميزات الجرافيت المطلي بالكربون السيليكون ICP
- تجنب التقشير والتأكد من الطلاء على كل الأسطح
مقاومة الأكسدة في درجات الحرارة العالية: مستقرة في درجات حرارة عالية تصل إلى 1600 درجة مئوية
درجة نقاء عالية: مصنوعة من ترسيب البخار الكيميائي CVD تحت ظروف الكلورة في درجات حرارة عالية.
مقاومة التآكل: صلابة عالية ، سطح كثيف وجزيئات دقيقة.
مقاومة التآكل: الكواشف الحمضية والقلوية والملح والعضوية.
- تحقيق أفضل نمط تدفق للغاز الرقائقي
- ضمان اتساق البروفايل الحراري
- منع أي تلوث أو انتشار للشوائب