منتجات
لوحة SiC لعملية النقش ICP

لوحة SiC لعملية النقش ICP

تعتبر لوحة SiC من Semicorex لعملية النقش ICP الحل الأمثل لمتطلبات المعالجة الكيميائية القاسية ودرجات الحرارة العالية في ترسيب الأغشية الرقيقة ومعالجة الرقاقات. يتميز منتجنا بمقاومة فائقة للحرارة وحتى تجانس حراري، مما يضمن سماكة ومقاومة طبقة epi المتسقة. مع سطح نظيف وناعم، يوفر طلاء كريستال SiC عالي النقاء الخاص بنا معالجة مثالية للرقائق الأصلية.

إرسال استفسار

وصف المنتج

حقق أعلى مستويات الجودة في عمليات النقش وMOCVD باستخدام لوحة SiC من Semicorex لعملية النقش ICP. تم تصميم منتجنا خصيصًا لهذه العمليات، مما يوفر مقاومة فائقة للحرارة والتآكل. يوفر طلاء كريستال SiC الناعم الخاص بنا سطحًا نظيفًا وناعمًا، مما يسمح بالتعامل الأمثل مع الرقائق.

تم تصميم لوحة SiC الخاصة بنا لعملية النقش ICP لتحقيق أفضل نمط لتدفق الغاز الصفحي، مما يضمن تساوي المظهر الحراري. وهذا يساعد على منع انتشار أي تلوث أو شوائب، مما يضمن نموًا فوقيًا عالي الجودة على شريحة الويفر.

اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد عن لوحة SiC الخاصة بنا لعملية النقش ICP.


معلمات لوحة SiC لعملية النقش ICP

المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC

خصائص SiC-CVD

الهيكل البلوري

المرحلة FCC β

كثافة

جم / سم ³

3.21

صلابة

صلابة فيكرز

2500

حجم الحبوب

ميكرومتر

2~10

النقاء الكيميائي

%

99.99995

القدرة الحرارية

ي كغ-1 ك-1

640

درجة حرارة التسامي

2700

قوة العطف

ميجا باسكال (RT 4 نقاط)

415

معامل يونغ

المعدل التراكمي (انحناء 4pt، 1300 درجة مئوية)

430

التمدد الحراري (C.T.E)

10-6 ك-1

4.5

الموصلية الحرارية

(ث / م ك)

300


مميزات لوحة SiC لعملية النقش ICP

- تجنب التقشير وتأكد من الطلاء على جميع الأسطح

مقاومة الأكسدة لدرجات الحرارة العالية: مستقرة عند درجات حرارة عالية تصل إلى 1600 درجة مئوية

درجة نقاء عالية: يتم تصنيعها عن طريق ترسيب البخار الكيميائي CVD تحت ظروف الكلورة ذات درجة الحرارة العالية.

مقاومة التآكل: صلابة عالية، سطح كثيف وجزيئات دقيقة.

مقاومة التآكل: الأحماض والقلويات والملح والكواشف العضوية.

- تحقيق أفضل نمط لتدفق الغاز الصفحي

- ضمان تساوي الملف الحراري

- منع انتشار أي تلوث أو شوائب





الكلمات الساخنة: لوحة SiC لعملية النقش ICP، الصين، المصنعين، الموردين، المصنع، حسب الطلب، السائبة، المتقدمة، دائم
الفئة ذات الصلة
إرسال استفسار
لا تتردد في تقديم استفسارك في النموذج أدناه. سوف نقوم بالرد عليك خلال 24 ساعة.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept