توفر لوحة النقش بالبلازما ICP من Semicorex مقاومة فائقة للحرارة والتآكل لمعالجة الرقائق وعمليات ترسيب الأغشية الرقيقة. تم تصميم منتجنا لتحمل درجات الحرارة العالية والتنظيف الكيميائي القاسي ، مما يضمن المتانة وطول العمر. مع سطح نظيف وسلس ، فإن الناقل الخاص بنا مثالي للتعامل مع الرقائق الأصلية.
عندما يتعلق الأمر بترسيب الأغشية الرقيقة ومعالجة الرقائق ، ثق في لوحة النقش بالبلازما ICP من Semicorex. يوفر منتجنا مقاومة فائقة للحرارة والتآكل ، وتوحيد حراري حتى ، وأنماط تدفق غاز رقائقي مثالية. مع سطح نظيف وسلس ، فإن الناقل الخاص بنا مثالي للتعامل مع الرقائق الأصلية.
صُممت لوحة النقش بالبلازما ICP الخاصة بنا لتحقيق أفضل نمط لتدفق الغاز الرقائقي ، مما يضمن توازن المظهر الحراري. هذا يساعد على منع أي تلوث أو انتشار للشوائب ، مما يضمن نمو فائق الجودة على رقاقة الويفر.
اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد عن لوحة النقش بالبلازما ICP.
معلمات لوحة النقش بالبلازما ICP
المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC |
||
خصائص SiC-CVD |
||
هيكل بلوري |
مرحلة FCC β |
|
كثافة |
ز / سم ³ |
3.21 |
صلابة |
صلابة فيكرز |
2500 |
حجم الحبوب |
μ م |
2 ~ 10 |
نقاء كيميائي |
% |
99.99995 |
السعة الحرارية |
J · kg-1 · K-1 |
640 |
درجة حرارة التسامي |
℃ |
2700 |
قوة فيليكسورال |
MPa (RT 4 نقاط) |
415 |
معامل يونغ |
المعدل التراكمي (منحنى 4 نقاط ، 1300 درجة) |
430 |
التمدد الحراري (CTE) |
10-6 ك -1 |
4.5 |
توصيل حراري |
(ث / م ك) |
300 |
ميزات لوحة النقش بالبلازما ICP
- تجنب التقشير والتأكد من وجود طلاء على جميع الأسطح
مقاومة الأكسدة في درجات الحرارة العالية: مستقرة في درجات حرارة عالية تصل إلى 1600 درجة مئوية
درجة نقاء عالية: مصنوعة من ترسيب البخار الكيميائي CVD تحت ظروف الكلورة في درجات حرارة عالية.
مقاومة التآكل: صلابة عالية ، سطح كثيف وجزيئات دقيقة.
مقاومة التآكل: الكواشف الحمضية والقلوية والملح والعضوية.
- تحقيق أفضل نمط تدفق للغاز الرقائقي
- ضمان التوازن الحراري للملف الشخصي
- منع أي تلوث أو انتشار للشوائب