توفر لوحة النقش بالبلازما ICP من Semicorex مقاومة فائقة للحرارة والتآكل لمعالجة الرقاقات وعمليات ترسيب الأغشية الرقيقة. تم تصميم منتجنا ليتحمل درجات الحرارة العالية والتنظيف الكيميائي القاسي، مما يضمن المتانة وطول العمر. مع سطح نظيف وأملس، فإن حاملنا مثالي للتعامل مع الرقاقات الأصلية.
عندما يتعلق الأمر بترسيب الأغشية الرقيقة والتعامل مع الرقاقات، ثق في لوحة النقش بالبلازما ICP من Semicorex. يقدم منتجنا مقاومة فائقة للحرارة والتآكل، وحتى التجانس الحراري، وأنماط تدفق الغاز الصفائحي المثالية. مع سطح نظيف وأملس، فإن حاملنا مثالي للتعامل مع الرقاقات الأصلية.
تم تصميم لوحة النقش بالبلازما ICP الخاصة بنا لتحقيق أفضل نمط لتدفق الغاز الرقائقي، مما يضمن تساوي المظهر الحراري. وهذا يساعد على منع انتشار أي تلوث أو شوائب، مما يضمن نموًا فوقيًا عالي الجودة على شريحة الويفر.
اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد عن لوحة النقش بالبلازما ICP.
معلمات لوحة النقش بالبلازما ICP
المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC |
||
خصائص SiC-CVD |
||
الهيكل البلوري |
المرحلة FCC β |
|
كثافة |
جم / سم ³ |
3.21 |
صلابة |
صلابة فيكرز |
2500 |
حجم الحبوب |
ميكرومتر |
2~10 |
النقاء الكيميائي |
% |
99.99995 |
القدرة الحرارية |
ي كغ-1 ك-1 |
640 |
درجة حرارة التسامي |
℃ |
2700 |
قوة العطف |
ميجاباسكال (RT 4 نقاط) |
415 |
معامل يونغ |
المعدل التراكمي (انحناء 4pt، 1300 درجة مئوية) |
430 |
التمدد الحراري (C.T.E) |
10-6 ك-1 |
4.5 |
الموصلية الحرارية |
(ث / م ك) |
300 |
مميزات لوحة النقش بالبلازما ICP
- تجنب التقشير وتأكد من الطلاء على جميع الأسطح
مقاومة الأكسدة لدرجات الحرارة العالية: مستقرة عند درجات حرارة عالية تصل إلى 1600 درجة مئوية
درجة نقاء عالية: يتم تصنيعها عن طريق ترسيب البخار الكيميائي CVD تحت ظروف الكلورة ذات درجة الحرارة العالية.
مقاومة التآكل: صلابة عالية، سطح كثيف وجزيئات دقيقة.
مقاومة التآكل: الأحماض والقلويات والملح والكواشف العضوية.
- تحقيق أفضل نمط لتدفق الغاز الصفحي
- ضمان تساوي الملف الحراري
- منع انتشار أي تلوث أو شوائب