طلاء كربيد عالي الحرارة لغرف حفر البلازما

في Semicorex ، نتفهم أهمية معدات مناولة الويفر عالية الجودة. هذا هو السبب في أن طلاء SiC عالي الحرارة لغرف حفر البلازما مصمم خصيصًا لبيئات التنظيف الكيميائية القاسية ودرجة الحرارة العالية. توفر شركات النقل الخاصة بنا مقاطع جانبية حرارية وأنماط تدفق غاز رقائقي وتمنع التلوث أو انتشار الشوائب.
اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد عن طلاء SiC عالي الحرارة لغرف حفر البلازما.

معلمات طلاء SiC عالي الحرارة لغرف حفر البلازما

ميزات طلاء SiC عالي الحرارة لغرف حفر البلازما

- تجنب التقشير والتأكد من الطلاء على كل الأسطح

مقاومة الأكسدة في درجات الحرارة العالية: مستقرة في درجات حرارة عالية تصل إلى 1600 درجة مئوية

درجة نقاء عالية: مصنوعة من ترسيب البخار الكيميائي CVD تحت ظروف الكلورة في درجات حرارة عالية.

مقاومة التآكل: صلابة عالية ، سطح كثيف وجزيئات دقيقة.

مقاومة التآكل: الكواشف الحمضية والقلوية والملح والعضوية.

- تحقيق أفضل نمط تدفق للغاز الرقائقي

- ضمان اتساق البروفايل الحراري

- منع أي تلوث أو انتشار للشوائب