تعتبر لوحة حامل النقش ICP من Semicorex الحل الأمثل للمطالبة بعمليات معالجة الرقائق وترسيب الأغشية الرقيقة. يوفر منتجنا مقاومة فائقة للحرارة والتآكل ، وتوحيد حراري حتى ، وأنماط تدفق غاز رقائقي. مع سطح نظيف وسلس ، فإن الناقل الخاص بنا مثالي للتعامل مع الرقائق الأصلية.
توفر لوحة حامل النقش ICP من Semicorex متانة ممتازة وطول العمر لمعالجة الرقائق وعمليات ترسيب الأغشية الرقيقة. يتميز منتجنا بمقاومة فائقة للحرارة والتآكل ، وحتى التوحيد الحراري وأنماط تدفق الغاز الرقائقي. مع السطح النظيف والأملس ، يضمن الناقل الخاص بنا التعامل الأمثل مع الرقائق الأصلية. سحب درجة الحرارة العالية ، التنظيف الكيميائي ، وكذلك التوحيد الحراري العالي.
اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد عن لوحة النقل الخاصة بنا.
معلمات لوحة حامل النقش لبرنامج المقارنات الدولية
المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC |
||
خصائص SiC-CVD |
||
هيكل بلوري |
مرحلة FCC β |
|
كثافة |
ز / سم ³ |
3.21 |
صلابة |
صلابة فيكرز |
2500 |
حجم الحبوب |
μ م |
2 ~ 10 |
نقاء كيميائي |
% |
99.99995 |
السعة الحرارية |
J · kg-1 · K-1 |
640 |
درجة حرارة التسامي |
℃ |
2700 |
قوة فيليكسورال |
MPa (RT 4 نقاط) |
415 |
معامل يونغ |
المعدل التراكمي (منحنى 4 نقاط ، 1300 درجة) |
430 |
التمدد الحراري (CTE) |
10-6 ك -1 |
4.5 |
توصيل حراري |
(ث / م ك) |
300 |
ميزات لوحة حامل النقش ICP
- تجنب التقشير والتأكد من الطلاء على كل الأسطح
مقاومة الأكسدة في درجات الحرارة العالية: مستقرة في درجات حرارة عالية تصل إلى 1600 درجة مئوية
درجة نقاء عالية: مصنوعة من ترسيب البخار الكيميائي CVD تحت ظروف الكلورة في درجات حرارة عالية.
مقاومة التآكل: صلابة عالية ، سطح كثيف وجزيئات دقيقة.
مقاومة التآكل: الكواشف الحمضية والقلوية والملح والعضوية.
- تحقيق أفضل نمط تدفق للغاز الرقائقي
- ضمان اتساق البروفايل الحراري
- منع أي تلوث أو انتشار للشوائب