منتجات

حامل بسكويت الويفر لعملية النقش ICP

حامل بسكويت الويفر لعملية النقش ICP

يعتبر حامل رقاقة Semicorex الخاص بعملية النقش ICP هو الخيار الأمثل للمطالبة بعمليات معالجة الرقائق وترسيب الأغشية الرقيقة. يتميز منتجنا بمقاومة فائقة للحرارة والتآكل ، وتوحيد حراري حتى ، وأنماط تدفق غاز رقائقي مثالية للحصول على نتائج متسقة وموثوقة.

إرسال استفسار

وصف المنتج

اختر حامل رقاقة Semicorex لعملية حفر ICP للحصول على أداء موثوق به ومتسق في معالجة الرقائق وعمليات ترسيب الأغشية الرقيقة. يقدم منتجنا مقاومة الأكسدة لدرجات الحرارة العالية ، والنقاء العالي ، ومقاومة التآكل للأحماض ، والقلويات ، والملح ، والكواشف العضوية.
تم تصميم حامل بسكويت الويفر الخاص بنا لعملية النقش ICP لتحقيق أفضل نمط تدفق للغاز الرقائقي ، مما يضمن توازن المظهر الحراري. هذا يساعد على منع أي تلوث أو انتشار للشوائب ، مما يضمن نمو فائق الجودة على رقاقة الويفر.
اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد عن حامل الويفر الخاص بنا لعملية النقش في برنامج المقارنات الدولية.


معلمات حامل بسكويت الويفر لعملية النقش ICP

المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC

خصائص SiC-CVD

هيكل بلوري

مرحلة FCC β

كثافة

ز / سم ³

3.21

صلابة

صلابة فيكرز

2500

حجم الحبوب

μ م

2 ~ 10

نقاء كيميائي

%

99.99995

السعة الحرارية

J · kg-1 · K-1

640

درجة حرارة التسامي

2700

قوة فيليكسورال

MPa (RT 4 نقاط)

415

معامل يونغ

المعدل التراكمي (منحنى 4 نقاط ، 1300 درجة)

430

التمدد الحراري (CTE)

10-6 ك -1

4.5

توصيل حراري

(ث / م ك)

300


ميزات حامل بسكويت الويفر لعملية النقش ICP

- تجنب التقشير والتأكد من الطلاء على كل الأسطح

مقاومة الأكسدة في درجات الحرارة العالية: مستقرة في درجات حرارة عالية تصل إلى 1600 درجة مئوية

درجة نقاء عالية: مصنوعة من ترسيب البخار الكيميائي CVD تحت ظروف الكلورة في درجات حرارة عالية.

مقاومة التآكل: صلابة عالية ، سطح كثيف وجزيئات دقيقة.

مقاومة التآكل: الكواشف الحمضية والقلوية والملح والعضوية.

- تحقيق أفضل نمط تدفق للغاز الرقائقي

- ضمان اتساق البروفايل الحراري

- منع أي تلوث أو انتشار للشوائب





الكلمات الساخنة: حامل رقاقة لعملية النقش ICP ، الصين ، المصنعين ، الموردين ، المصنع ، حسب الطلب ، السائبة ، المتقدمة ، المتينة

الفئة ذات الصلة

إرسال استفسار

لا تتردد في تقديم استفسارك في النموذج أدناه. سوف نقوم بالرد عليك خلال 24 ساعة.
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept