منتجات
نظام النقش بالبلازما ICP

نظام النقش بالبلازما ICP

يعد الناقل المطلي بـ SiC من Semicorex لنظام ICP Plasma Etching System حلاً موثوقًا وفعالاً من حيث التكلفة لعمليات معالجة الرقاقات ذات درجة الحرارة العالية مثل epitaxy وMOCVD. تتميز ناقلاتنا بطبقة كريستال SiC الدقيقة التي توفر مقاومة فائقة للحرارة، وحتى تجانسًا حراريًا، ومقاومة كيميائية متينة.

إرسال استفسار

وصف المنتج

يمكنك تحقيق أعلى مستويات الجودة في عمليات النقش وMOCVD من خلال الناقل المطلي بـ SiC من Semicorex لنظام الحفر بالبلازما ICP. تم تصميم منتجنا خصيصًا لهذه العمليات، مما يوفر مقاومة فائقة للحرارة والتآكل. يوفر طلاء كريستال SiC الناعم الخاص بنا سطحًا نظيفًا وناعمًا، مما يسمح بالتعامل الأمثل مع الرقائق.
اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد عن حاملنا المطلي بـ SiC لنظام الحفر بالبلازما ICP.


معلمات الناقل المطلي بـ SiC لنظام الحفر بالبلازما ICP

المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC

خصائص SiC-CVD

الهيكل البلوري

المرحلة FCC β

كثافة

جم / سم ³

3.21

صلابة

صلابة فيكرز

2500

حجم الحبوب

ميكرومتر

2~10

النقاء الكيميائي

%

99.99995

القدرة الحرارية

ي كغ-1 ك-1

640

درجة حرارة التسامي

2700

قوة العطف

ميجا باسكال (RT 4 نقاط)

415

معامل يونغ

المعدل التراكمي (انحناء 4pt، 1300 درجة مئوية)

430

التمدد الحراري (C.T.E)

10-6 ك-1

4.5

الموصلية الحرارية

(ث / م ك)

300


ميزات الناقل المطلي بـ SiC لنظام الحفر بالبلازما ICP

- تجنب التقشير وتأكد من الطلاء على جميع الأسطح

مقاومة الأكسدة لدرجات الحرارة العالية: مستقرة عند درجات حرارة عالية تصل إلى 1600 درجة مئوية

درجة نقاء عالية: يتم تصنيعها عن طريق ترسيب البخار الكيميائي CVD تحت ظروف الكلورة ذات درجة الحرارة العالية.

مقاومة التآكل: صلابة عالية، سطح كثيف وجزيئات دقيقة.

مقاومة التآكل: الأحماض والقلويات والملح والكواشف العضوية.

- تحقيق أفضل نمط لتدفق الغاز الصفحي

- ضمان تساوي الملف الحراري

- منع انتشار أي تلوث أو شوائب





الكلمات الساخنة: نظام النقش بالبلازما ICP، الصين، المصنعين، الموردين، المصنع، مخصص، بالجملة، متقدم، متين
الفئة ذات الصلة
إرسال استفسار
لا تتردد في تقديم استفسارك في النموذج أدناه. سوف نقوم بالرد عليك خلال 24 ساعة.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept