- English
- Español
- Português
- русский
- Français
- 日本語
- Deutsch
- tiếng Việt
- Italiano
- Nederlands
- ภาษาไทย
- Polski
- 한국어
- Svenska
- magyar
- Malay
- বাংলা ভাষার
- Dansk
- Suomi
- हिन्दी
- Pilipino
- Türkçe
- Gaeilge
- العربية
- Indonesia
- Norsk
- تمل
- český
- ελληνικά
- український
- Javanese
- فارسی
- தமிழ்
- తెలుగు
- नेपाली
- Burmese
- български
- ລາວ
- Latine
- Қазақша
- Euskal
- Azərbaycan
- Slovenský jazyk
- Македонски
- Lietuvos
- Eesti Keel
- Română
- Slovenski
- मराठी
- Srpski језик
بيت
>
منتجات > كربيد السيليكون المطلي > حامل النقش لبرنامج المقارنات الدولية > نظام النقش بالبلازما ICP
نظام النقش بالبلازما ICP
يعتبر ناقل Semicorex's SiC Coated لنظام النقش بالبلازما ICP حلاً موثوقًا وفعالًا من حيث التكلفة لعمليات معالجة الرقائق ذات درجات الحرارة العالية مثل epitaxy و MOCVD. تتميز ناقلاتنا بطبقة كريستالية من SiC التي توفر مقاومة فائقة للحرارة ، وتوحيد حراري ، ومقاومة كيميائية متينة.
إرسال استفسار
وصف المنتج
حقق أعلى جودة لعمليات epitaxy و MOCVD مع حامل Semicorex's SiC المغلف لنظام النقش بالبلازما ICP. تم تصميم منتجنا خصيصًا لهذه العمليات ، مما يوفر مقاومة فائقة للحرارة والتآكل. يوفر طلاء الكريستال SiC الدقيق الخاص بنا سطحًا نظيفًا وسلسًا ، مما يسمح بمعالجة مثالية للرقائق.
اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد عن الناقل المطلي بـ SiC لنظام النقش بالبلازما ICP.
معلمات الحامل المطلي SiC لنظام النقش بالبلازما ICP
|
المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC |
||
|
خصائص SiC-CVD |
||
|
هيكل بلوري |
مرحلة FCC β |
|
|
كثافة |
ز / سم ³ |
3.21 |
|
صلابة |
صلابة فيكرز |
2500 |
|
حجم الحبوب |
μ م |
2 ~ 10 |
|
نقاء كيميائي |
% |
99.99995 |
|
السعة الحرارية |
J · kg-1 · K-1 |
640 |
|
درجة حرارة التسامي |
℃ |
2700 |
|
قوة فيليكسورال |
MPa (RT 4 نقاط) |
415 |
|
معامل يونغ |
المعدل التراكمي (منحنى 4 نقاط ، 1300 درجة) |
430 |
|
التمدد الحراري (CTE) |
10-6 ك -1 |
4.5 |
|
توصيل حراري |
(ث / م ك) |
300 |
ميزات الحامل المطلي SiC لنظام النقش بالبلازما ICP
- تجنب التقشير والتأكد من وجود طلاء على جميع الأسطح
مقاومة الأكسدة في درجات الحرارة العالية: مستقرة في درجات حرارة عالية تصل إلى 1600 درجة مئوية
درجة نقاء عالية: مصنوعة من ترسيب البخار الكيميائي CVD تحت ظروف الكلورة في درجات حرارة عالية.
مقاومة التآكل: صلابة عالية ، سطح كثيف وجزيئات دقيقة.
مقاومة التآكل: الكواشف الحمضية والقلوية والملح والعضوية.
- تحقيق أفضل نمط تدفق للغاز الرقائقي
- ضمان التوازن الحراري للملف الشخصي
- منع أي تلوث أو انتشار للشوائب
الكلمات الساخنة: نظام النقش بالبلازما ICP ، الصين ، المصنعين ، الموردين ، المصنع ، حسب الطلب ، السائبة ، المتقدم ، المتين
علامة المنتج
الفئة ذات الصلة
حامل البرميل
ناقل النقش PSS
حامل النقش لبرنامج المقارنات الدولية
RTP Carrier
مستشعر MOCVD
أحادي البلورية السيليكون
الصمام الفوقي حساس
SiC Epitaxy
GaN على SiC Epitaxy
سخان ويفر
مستحضر الفطيرة
سي إيبيتاكسي
الأجزاء الكهروضوئية
إرسال استفسار
لا تتردد في تقديم استفسارك في النموذج أدناه. سوف نقوم بالرد عليك خلال 24 ساعة.
