باعتبارنا شركة تصنيع محترفة، نود أن نقدم لك مكونات أشباه الموصلات. Semicorex هو شريكك لتحسين معالجة أشباه الموصلات. تتميز طلاءات كربيد السيليكون الخاصة بنا بأنها كثيفة ومقاومة لدرجة الحرارة العالية والمواد الكيميائية، والتي تُستخدم غالبًا في الدورة الكاملة لتصنيع أشباه الموصلات، بما في ذلك معالجة رقائق أشباه الموصلات والرقائق وتصنيع أشباه الموصلات.
تعتبر المكونات المطلية بـ SiC عالية النقاء ضرورية للعمليات في أشباه الموصلات. تتراوح عروضنا من المواد الاستهلاكية من الجرافيت للمناطق الساخنة التي تنمو فيها البلورات (السخانات، ومستقبلات البوتقة، والعزل)، إلى مكونات الجرافيت عالية الدقة لمعدات معالجة الرقائق، مثل مستقبلات الجرافيت المطلية بكربيد السيليكون لـ Epitaxy أو MOCVD.
مزايا عمليات أشباه الموصلات
يجب أن تتحمل مراحل ترسيب الأغشية الرقيقة مثل التنضيد أو MOCVD، أو معالجة معالجة الرقاقة مثل النقش أو زرع الأيونات درجات حرارة عالية وتنظيفًا كيميائيًا قاسيًا. يوفر Semicorex هيكل جرافيت مطلي بكربيد السيليكون عالي النقاء (SiC) يوفر مقاومة فائقة للحرارة ومقاومة كيميائية متينة، حتى التوحيد الحراري لسمك طبقة epi المتسقة والمقاومة.
أغطية الغرفة →
يجب أن تتحمل أغطية الغرفة المستخدمة في نمو البلورات ومعالجة الرقائق درجات الحرارة العالية والتنظيف الكيميائي القاسي.
المؤثر النهائي →
المستجيب النهائي هو يد الروبوت التي تحرك رقائق أشباه الموصلات بين المواضع في معدات معالجة الرقائق والناقلات.
حلقات المدخل →
حلقة مدخل الغاز المطلية بـ SiC بواسطة معدات MOCVD تتميز النمو المركب بمقاومة عالية للحرارة والتآكل، والتي تتمتع بثبات كبير في البيئة القاسية.
Focus Ring →
تزود شركة Semicorex حلقة التركيز المطلية بكربيد السيليكون بأنها مستقرة حقًا للتنظيف الكيميائي القاسي من RTA أو RTP.
ويفر تشاك →
إن خراطيش الويفر الخزفية المسطحة للغاية من Semicorex هي عبارة عن طلاء عالي النقاء من SiC يستخدم في عملية معالجة الرقاقات.