حاملة كذا لمجلة مفوضية مفوضية

تم تصميمه لتلبية المتطلبات التي لا هوادة فيها من حفر الحفر والترسبات الحديثة (ICP) ، وحامل الجرافيت المغطى بأقصىق مع ICP ، يوفر توازنًا نادرًا من مرونة البلازما والدقة الحرارية والاستقرار الميكانيكي. في جوهرها تكمن ركيزة من الجرافيت الصغيرة ، التي يتم التحكم في اتجاهها البلوري بإحكام لإنتاج سلوك متباين غير عادي: يتجاوز الموصلية الحرارية في الطائرة الدرجات التقليدية المتساوية التقليدية ، بينما يظل مسار الطائرة عبر الطائرة معتدلًا بشكل متعمد لقمع النقاط الساخنة على جانب الذراع. تضمن إدارة تدفق الحرارة الاتجاهية أن كل موت عبر رقاقة من 150 ملم إلى 300 مم يعاني من ترشيح درجة حرارة موحدة وتوازن الحالة الثابتة ، والترجمة مباشرة إلى توزيعات أضيق الأبعاد الحرجة (CD) وعائدات الأجهزة الأعلى.

ملفوفة حول هذا الجرافيت فائقة الرسم عبارة عن طبقة متطابقة من السيليكون والكربيلة المشتركة في فرن CVD عالي درجة الحرارة. طلاء SIC - خامل كيميائيًا يصل إلى 2000 درجة مئوية ويتميز بزملاء صغير يقل عن 0.1 ٪ - يوضح درعًا غير منفذ ضد الفلور والكلور والبروم الشائع في كيميائيات ICP عالية الكثافة. أظهر اختبار التحمل طويل الأمد في CF₄/O₂ ، CL₂/BCL₃ و HBR/HE HBR معدلات التآكل أقل من 0.3 ميكرات 100 ساعة ، وتوسيع عمر خدمة الناقل إلى ما هو أبعد من معايير الصناعة وتخفيض بشكل كبير في وقت التخلص من الصيانة الوقائية.

الدقة الأبعاد غير متوقعة على قدم المساواة: يتم التحكم في التسوية السطحية في ± 5µm عبر المنطقة المحببة بأكملها ، في حين أن ميزات استبعاد الحافة محصورة بالليزر لحماية محيط الرقاقة من السوس الدقيق. إن التسامح الضيق ، إلى جانب صلابة طلاء SIC القريبة ، يقاوم توليد الجسيمات في ظل تثبيت ميكانيكي وركوب الدراجات الإلكتروستاتيكية ، وحماية عمليات العقدة الفرعية 10 نانومتر من تلوث عيب القاتل. بالنسبة لمفاعلات ICP عالية الطاقة ، فإن المقاومة الكهربائية المنخفضة للناقل (<40µΩ · M) تعزز تثبيت الطابق الأرضي السريع RF ، مما يقلل من تقلبات الجهد الغمد التي يمكن أن تآكل ملفات التعريف الضوئية أو تحفيز التقييم الدقيق.

تخضع كل دفعة من ناقلات Semicorex إلى مقاييس شاملة - رسم خرائط للرامان للتحقق من محاذاة البلورات الجرافيت ، وتصفية SEM لتأكيد تكامل طبقة SIC ، وتحليل GAS المتبقي لتصديق عتبات الشوائب على مستوى PPM. نظرًا لأننا نصر على الإنتاج الدقيق (أقل من 20 قطعة لكل تشغيل) ، تظل مخططات التحكم في العملية الإحصائية ضيقة بشكل استثنائي ، مما يتيح لنا ضمان استنساخ من الرقاقة التي لا يمكن لموردي السوق الشامل مطابقة. تتوفر الأشكال الهندسية المخصصة وأعماق الجيب وقنوات التبريد الخلفية بأوقات زمنية قصيرة تصل إلى ثلاثة أسابيع ، وتمكين المعدات الأصلية المصنعة الأصلية و FABs عالية الإعداد لتحسين وصفات الغرفة دون إعادة تصميم مداخن الأجهزة بأكملها.

من خلال توحيد الجرافيت متباين الخواص على مستوى العالم مع درع SIC HERMECT ، يوفر حامل SIC SIMICOREX لـ ICP FABs مع منصة طويلة الأمد والتلوث والموحدة حراريًا - لا يقتصر فقط على أقسى بيئات البلازما ، ولكنها تعزز بشكل فعال عرض نافذة العملية على أساس العملية. بالنسبة لمصنعي الأجهزة الذين يسعون نحو خطوط خطية دائمة ، وملامح أكثر حدة وتكلفة أقل للملكية ، فإن الناقل المفضل حيث كل ميكرون وكل رقاقة وكل ساعة من وقت التشغيل.