ناقلات رقاقة المغلفة كذا

حاملات الرقاقة المغلفة SiMicorex SIC هي مكونات متقدمة تدعم الرقاقات لعمليات درجات الحرارة العالية في تطبيقات أشباه الموصلات مثل النمو الفوقي ، والانتشار ، و CVD. توفر شركات النقل فوائد هيكلية من الجرافيت عالي النقاء مع أقصى فوائد السطح باستخدام مكثف وموحدطلاء كذامن أجل الاستقرار الحراري الأمثل ، والمقاومة الكيميائية ، والقوة الميكانيكية في ظل ظروف المعالجة الشاقة.

جوهر الجرافيت عالي النقاء للحصول على الموصلية الحرارية المثلى

حاملات الرقاقة المغلفة SIC هي مادة الركيزة من الحبوب فائقة الحمل ، وجرافيت عالي النقاء. إنه موصل حراري فعال ، كونه خفيفًا وقابل للآلة ، يمكن تصنيعه في هندسة معقدة مطلوبة بحجم الرقاقة وعوامل العملية الفريدة. يوفر الجرافيت تسخينًا موحدًا على سطح الرقاقة الذي يحد من حدوث التدرجات الحرارية وعيوب المعالجة الحرارية.

طبقة كثيفة الكثافة لحماية السطح وتوافق العملية

حاملة الجرافيت مغلفة بنقاء عالي ، كربيد السيليكون CVD. يوفر طلاء SIC حماية خالية من المسام غير منفذة ضد التآكل ، والأكسدة والتلوث الغاز من الأنواع مثل الهيدروجين والكلور والسيلان. والنتيجة النهائية هي الناقل القاسي المنخفض الأجزاء الذي لا يدمر أو يفقد الاستقرار الأبعاد ، ويخضع للخضوع للعديد من الدورات الحرارية ويمثل احتمال انخفاض كبير لتلوث الرقاقة.

الفوائد والميزات الرئيسية

المقاومة الحرارية: الطلاءات المستقرة مستقرة لدرجات الحرارة التي تتجاوز 1600 درجة مئوية ، والتي تم تحسينها لاحتياجات Epitaxy وانتشر درجة الحرارة العالية.

مقاومة كيميائية ممتازة: يقاوم جميع غازات العملية التآكل والمواد الكيميائية للتنظيف ، ويسمح لحياة أطول ووقت أقل.

توليد الجسيمات المنخفض: يقلل سطح SIC من التقشير وسقيفة الجسيمات ، ويبقي نظافة بيئة العملية التي تعتبر حيوية لعائد الجهاز.

التحكم في الأبعاد: تم تصميمه بدقة لإغلاق التحمل لضمان دعم رقاقة موحدة بحيث يمكن معالجته تلقائيًا مع الرقاقات.

تخفيض التكاليف: توفر دورات الحياة الأطول واحتياجات الصيانة المنخفضة التكلفة الإجمالية للملكية (TCO) من الناقلات الجرافيت التقليدية أو الناقلات العارية.

التطبيقات:

تُستخدم حاملات الرقاقة المطلية على نطاق واسع في تصنيع أشباه الموصلات ، وأشباه الموصلات المركبة (مثل GAN ، SIC) ، MEMS ، LEDs ، وغيرها من الأجهزة التي تتطلب معالجة درجات الحرارة العالية في بيئات كيميائية عدوانية. وهي ضرورية بشكل خاص في المفاعلات الفوقية ، حيث تؤثر نظافة السطح والمتانة والتوحيد الحراري بشكل مباشر على جودة الويفر وكفاءة الإنتاج.

التخصيص ومراقبة الجودة

semicorexكذا المغلفةيتم إنتاج ناقلات الرقاقة تحت بروتوكولات مراقبة الجودة الصارمة. لدينا أيضًا مرونة مع الأحجام والتكوينات القياسية ، ويمكننا مخصص حلول المهندسين التي تلبي متطلبات العملاء. سواء كان لديك تنسيق رقاقة بحجم 4 بوصات أو 12 بوصة ، يمكننا تحسين ناقلات الرقاقة للمفاعلات الأفقية أو الرأسية ، ومعالجة الدُفعة أو الرقاقة الفردية ، ووصفات epitaxy محددة.