SiC Susceptor لحفر ICP

يتم تصنيع Semicorex SiC Susceptor لـ ICP Etch مع التركيز على الحفاظ على معايير عالية من الجودة والاتساق. تضمن عمليات التصنيع القوية المستخدمة لإنشاء هذه المستقبلات أن كل دفعة تلبي معايير الأداء الصارمة، مما يوفر نتائج موثوقة ومتسقة في حفر أشباه الموصلات. بالإضافة إلى ذلك، تم تجهيز Semicorex لتقديم جداول تسليم سريعة، وهو أمر بالغ الأهمية لمواكبة متطلبات التحول السريع لصناعة أشباه الموصلات، وضمان تلبية الجداول الزمنية للإنتاج دون المساس بالجودة. نحن في Semicorex ملتزمون بتصنيع وتوريد الأداء العالي SiC Susceptor لـ ICP Etch الذي يدمج الجودة مع فعالية التكلفة.**

إرسال استفسار

وصف المنتج

تشتهر Semicorex SiC Susceptor لـ ICP Etch بموصليتها الحرارية الممتازة، والتي تسمح بتوزيع الحرارة السريع والموحد عبر السطح. تعتبر هذه الميزة ضرورية للحفاظ على درجة حرارة ثابتة أثناء عملية النقش، مما يضمن دقة عالية في نقل النمط. بالإضافة إلى ذلك، يقلل معامل التمدد الحراري المنخفض لـ SiC من تغيرات الأبعاد في ظل درجات حرارة متفاوتة، وبالتالي الحفاظ على السلامة الهيكلية ودعم إزالة المواد بشكل دقيق وموحد.

إحدى الخصائص البارزة لـ SiC Susceptor for ICP Etch هي مقاومتها لتأثير البلازما. تضمن هذه المقاومة عدم تحلل أو تآكل المستقبِل في ظل الظروف القاسية لقصف البلازما، وهو أمر شائع في عمليات الحفر هذه. تعمل هذه المتانة على تعزيز موثوقية عملية الحفر وتساهم في إنتاج أنماط حفر نظيفة ومحددة جيدًا بأقل قدر من العيوب.

يعتبر SiC Susceptor for ICP Etch مقاومًا بطبيعته للتآكل بواسطة الأحماض والقلويات القوية، وهي خاصية أساسية للمواد المستخدمة في بيئات الحفر ICP. تضمن هذه المقاومة الكيميائية أن SiC Susceptor for ICP Etch يحافظ على خصائصه الفيزيائية والميكانيكية بمرور الوقت، حتى عند تعرضه للكواشف الكيميائية العدوانية. تقلل هذه المتانة من الحاجة إلى الاستبدال والصيانة بشكل متكرر، وبالتالي خفض تكاليف التشغيل وزيادة وقت تشغيل مرافق تصنيع أشباه الموصلات.

يمكن تصميم Semicorex SiC Susceptor لـ ICP Etch بدقة لتلبية متطلبات الأبعاد المحددة، وهو عامل حاسم في تصنيع أشباه الموصلات حيث غالبًا ما يكون التخصيص مطلوبًا لاستيعاب أحجام الرقاقات المختلفة ومواصفات المعالجة. تسمح هذه القدرة على التكيف بتكامل أفضل مع المعدات وخطوط المعالجة الموجودة، مما يؤدي إلى تحسين الكفاءة والفعالية الشاملة لعملية الحفر.