إن مستشعرات رقاقة الجرافيت Semicorex مقاس 1 × 2 بوصة عبارة عن مكونات حمل عالية الأداء تم تصميمها خصيصًا للرقائق مقاس 2 بوصة، وهي مناسبة تمامًا للعملية الفوقية لرقائق أشباه الموصلات. اختر Semicorex للحصول على نقاء المواد الرائد في الصناعة، والهندسة الدقيقة، والموثوقية التي لا مثيل لها في بيئات النمو الفوقي الصعبة.
في تصنيع رقائق أشباه الموصلات، يلزم زراعة الطبقة الفوقية على ركيزة الرقاقة من أجل التصنيع اللاحق لأجهزة أشباه الموصلات. نظرًا لأن عملية النمو الفوقي حساسة للغاية لتقلبات درجات الحرارة والتلوث، فإن الاختيارات موثوقةمستقبلات الرقاقةذات أهمية بالغة. باعتبارها الأجزاء الداعمة التي لا غنى عنها في عملية الفوقي للرقاقة، فإن دقة المعالجة والقدرة على الإدارة الحرارية وأداء مقاومة التلوث هي عوامل حاسمة في تحقيق النمو الفوقي للرقاقة عالي الجودة.
مصنوعة من حبيبات فائقة النقاء، من الجرافيت عالي النقاء كمصفوفة مع طبقة كربيد السيليكون الكثيفة عبر عمليات خاصة، توفر مستقبِلات رقاقة الجرافيت Semicorex 1x2 بوصة الوظائف التالية:
سيميكوركس 1×2"الجرافيتتتميز مستقبلات الرقاقة بالتصنيع والمعالجة الدقيقة، مما يوفر تسطيحًا استثنائيًا للسطح ودقة الأبعاد. وهذا يضمن تثبيتها بقوة في وضع مناسب ويوفر منصة دعم مستقرة ومسطحة للنمو الفوقي للرقاقة.
بفضل التوصيل الحراري الممتاز لمواد الجرافيت وSiC، توفر مستقبلات رقاقة الجرافيت Semicorex 1x2 بوصة توزيعًا سريعًا وموحدًا للحرارة عبر مادة أشباه الموصلات. ومن خلال تقليل تدرجات درجة الحرارة، يمكن لمستقبلات رقاقة الجرافيت Semicorex 1x2 بوصة تجنب مشكلات مثل الجودة الفوقية غير المتساوية وتركيز الضغط بشكل فعال.
إن مستقبِلات رقاقة الجرافيت Semicorex 1x2 بوصة، المغطاة بطبقة كربيد السيليكون الكثيفة، مقاومة بشكل فعال لمعظم المواد الكيميائية، مما يجعلها مناسبة للتطبيقات في ظروف التشغيل شديدة التآكل حيث تتعرض المادة بشكل متكرر للغازات المسببة للتآكل والأبخرة الكيميائية.
سيميكوركسطلاء كربيد السيليكونيتمتع بقوة ربط عالية مع مصفوفة الجرافيت، والتي يمكن أن تتجنب بشكل كبير خطر تلوث الركيزة بسبب انفصال الطلاء بسبب التآكل وتساقط الجسيمات الناتج عن البيئات عالية التآكل.
على الرغم من أن مصفوفات الجرافيت تظهر ثباتًا حراريًا وقوة ميكانيكية ممتازة، إلا أنها عرضة للتآكل والسحق في ظل ظروف التشغيل للعملية الفوقي، مما يقلل بشكل كبير من عمر مصفوفات الجرافيت غير المطلية. من خلال تغليف مصفوفات الجرافيت بالكامل بطبقات SiC الكثيفة، فإن مستقبلات رقاقة الجرافيت مقاس 1 × 2 بوصة تحقق متانة فائقة وموثوقة.
البيانات المادية لطلاء Semicorex SiC
|
خصائص نموذجية |
الوحدات |
قيم |
| بناء |
/ |
المرحلة FCC β |
| توجيه | جزء (٪) |
111 مفضل |
| الكثافة الظاهرية |
جم/سم3 |
3.21 |
| صلابة | صلابة فيكرز |
2500 |
| القدرة الحرارية | J·kg⁻¹·K⁻¹ |
640 |
| التمدد الحراري 100-600 درجة مئوية (212-1112 درجة فهرنهايت) |
10⁻⁶ ك⁻¹ |
4.5 |
| معامل يونغ |
المعدل التراكمي (انحناء 4pt، 1300 درجة مئوية) |
430 |
| حجم الحبوب |
ميكرومتر |
2 - 10 |
| درجة حرارة التسامي |
درجة مئوية |
2700 |
| قوة العاطفة |
ميجاباسكال (RT 4 نقاط) |
415 |
| الموصلية الحرارية |
(ث / م ك) |
300 |