مستقبل الجرافيت المطلي بـ SiC لـ MOCVD

Semicorex هي شركة مصنعة وموردة واسعة النطاق لمستقبل الجرافيت المطلي بكربيد السيليكون في الصين. نحن نركز على صناعات أشباه الموصلات مثل طبقات كربيد السيليكون وأشباه الموصلات الفوقية. يتمتع منتجنا Susceptor الجرافيت المطلي بـ SiC لـ MOCVD بميزة سعرية جيدة ويغطي العديد من الأسواق الأوروبية والأمريكية. ونحن نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل.

إرسال استفسار

وصف المنتج

إن جهاز Semicorex SiC المطلي بالجرافيت لـ MOCVD عبارة عن حامل جرافيت مطلي بكربيد السيليكون عالي النقاء، يستخدم في العملية لتنمية الطبقة الفوقية على شريحة الرقاقة. إنها اللوحة المركزية في MOCVD، على شكل ترس أو حلقة. يتميز Susceptor الجرافيت المطلي بـ SiC لـ MOCVD بمقاومة عالية للحرارة والتآكل، والذي يتمتع بثبات كبير في البيئة القاسية.
في Semicorex، نحن ملتزمون بتقديم منتجات وخدمات عالية الجودة لعملائنا. نحن نستخدم فقط أفضل المواد، وتم تصميم منتجاتنا لتلبية أعلى معايير الجودة والأداء. إن منتجنا من مادة SiC المطلية بالجرافيت لـ MOCVD ليست استثناءً. اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد حول كيف يمكننا مساعدتك في تلبية احتياجات معالجة رقائق أشباه الموصلات الخاصة بك.

معلمات مستقبل الجرافيت المطلي بـ SiC لـ MOCVD

المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC
خصائص SiC-CVD
الهيكل البلوري	المرحلة FCC β
كثافة	جم / سم ³	3.21
صلابة	صلابة فيكرز	2500
حجم الحبوب	ميكرومتر	2~10
النقاء الكيميائي	%	99.99995
القدرة الحرارية	ي كغ-1 ك-1	640
درجة حرارة التسامي	℃	2700
قوة العطف	ميجا باسكال (RT 4 نقاط)	415
معامل يونغ	المعدل التراكمي (انحناء 4pt، 1300 درجة مئوية)	430
التمدد الحراري (C.T.E)	10-6 ك-1	4.5
الموصلية الحرارية	(ث / م ك)	300

مميزات جهاز امتصاص الجرافيت المطلي بـ SiC لـ MOCVD

- تجنب التقشير وتأكد من الطلاء على جميع الأسطح
مقاومة الأكسدة لدرجات الحرارة العالية: مستقرة عند درجات حرارة عالية تصل إلى 1600 درجة مئوية
درجة نقاء عالية: يتم تصنيعها عن طريق ترسيب البخار الكيميائي CVD تحت ظروف الكلورة ذات درجة الحرارة العالية.
مقاومة التآكل: صلابة عالية، سطح كثيف وجزيئات دقيقة.
مقاومة التآكل: الأحماض والقلويات والملح والكواشف العضوية.
- تحقيق أفضل نمط لتدفق الغاز الصفحي
- ضمان تساوي الملف الحراري
- منع انتشار أي تلوث أو شوائب