Semicorex هي مورد معروف ومصنع لمنصة الأقمار الصناعية الجرافيت MOCVD المطلية SiC. تم تصميم منتجنا خصيصًا لتلبية احتياجات صناعة أشباه الموصلات في تنمية الطبقة فوق المحورية على رقاقة الويفر. يتم استخدام المنتج كلوحة مركزية في MOCVD ، مع تصميم ترس أو على شكل حلقة. تتميز بمقاومة عالية للحرارة والتآكل ، مما يجعلها مثالية للاستخدام في البيئات القاسية.
تتمثل إحدى أهم ميزات منصة الأقمار الصناعية الجرافيت MOCVD المطلية بـ SiC في قدرتها على ضمان الطلاء على جميع الأسطح ، وتجنب التقشير. تتميز بمقاومة الأكسدة عند درجات الحرارة العالية ، مما يضمن الاستقرار حتى في درجات الحرارة العالية التي تصل إلى 1600 درجة مئوية. المنتج مصنوع بنقاوة عالية من خلال ترسيب البخار الكيميائي CVD تحت ظروف الكلورة ذات درجة الحرارة العالية. له سطح كثيف مع جزيئات دقيقة ، مما يجعله شديد المقاومة للتآكل من الأحماض والقلويات والملح والمواد الكاشفة العضوية.
تم تصميم منصة الأقمار الصناعية الغرافيت MOCVD المطلية SiC الخاصة بنا لضمان أفضل نمط لتدفق الغاز الرقائقي ، مما يضمن توازن المظهر الحراري. إنه يمنع أي تلوث أو انتشار للشوائب ، مما يضمن نمو فائق الجودة على رقاقة الويفر. نحن نقدم أسعارًا تنافسية لمنتجنا ، مما يجعله في متناول العديد من العملاء. فريقنا مكرس لتقديم خدمة ودعم عملاء ممتازين. نحن نغطي العديد من الأسواق الأوروبية والأمريكية ، ونسعى جاهدين لنصبح شريكك على المدى الطويل في توفير منصة الأقمار الصناعية الجرافيت MOCVD المطلية بالكربيد عالية الجودة والموثوقة. اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد عن منتجاتنا.
معلمات منصة الأقمار الصناعية الجرافيت MOCVD المطلية بـ SiC
المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC |
||
خصائص SiC-CVD |
||
هيكل بلوري |
مرحلة FCC β |
|
كثافة |
ز / سم ³ |
3.21 |
صلابة |
صلابة فيكرز |
2500 |
حجم الحبوب |
μ م |
2 ~ 10 |
نقاء كيميائي |
% |
99.99995 |
السعة الحرارية |
J · kg-1 · K-1 |
640 |
درجة حرارة التسامي |
℃ |
2700 |
قوة فيليكسورال |
MPa (RT 4 نقاط) |
415 |
معامل يونغ |
المعدل التراكمي (منحنى 4 نقاط ، 1300 درجة) |
430 |
التمدد الحراري (CTE) |
10-6 ك -1 |
4.5 |
توصيل حراري |
(ث / م ك) |
300 |
ميزات منصة الأقمار الصناعية الجرافيت MOCVD المطلية ب SiC
- تجنب التقشير والتأكد من الطلاء على كل الأسطح
مقاومة الأكسدة في درجات الحرارة العالية: مستقرة في درجات حرارة عالية تصل إلى 1600 درجة مئوية
درجة نقاء عالية: مصنوعة من ترسيب البخار الكيميائي CVD تحت ظروف الكلورة في درجات حرارة عالية.
مقاومة التآكل: صلابة عالية ، سطح كثيف وجزيئات دقيقة.
مقاومة التآكل: الكواشف الحمضية والقلوية والملح والعضوية.
- تحقيق أفضل نمط تدفق للغاز الرقائقي
- ضمان اتساق البروفايل الحراري
- منع أي تلوث أو انتشار للشوائب