حساس MOCVD المطلي بـ SiC

Semicorex هي شركة رائدة في تصنيع وتوريد جهاز MOCVD Susceptor المطلي بـ SiC. تم تصميم منتجنا خصيصًا لصناعات أشباه الموصلات لتنمية الطبقة الفوقية على شريحة الرقاقة. يتم استخدام حامل الجرافيت المطلي بكربيد السيليكون عالي النقاء كلوحة مركزية في MOCVD، مع تصميم على شكل ترس أو حلقة. يتم استخدام جهاز الاستقبال الخاص بنا على نطاق واسع في معدات MOCVD، مما يضمن مقاومة عالية للحرارة والتآكل، واستقرار كبير في البيئات القاسية.

إرسال استفسار

وصف المنتج

واحدة من أهم ميزات جهاز MOCVD Susceptor المطلي بـ SiC هو أنه يضمن الطلاء على جميع الأسطح، مع تجنب التقشر. يتمتع المنتج بمقاومة الأكسدة لدرجات الحرارة العالية، وهو مستقر عند درجات حرارة عالية تصل إلى 1600 درجة مئوية. يتم تحقيق النقاء العالي باستخدام ترسيب البخار الكيميائي CVD تحت ظروف الكلورة ذات درجة الحرارة العالية. يتمتع المنتج بسطح كثيف مع جزيئات دقيقة، مما يجعله مقاومًا للغاية للتآكل الناتج عن الأحماض والقلويات والملح والكواشف العضوية.
يضمن جهاز MOCVD Susceptor المطلي بـ SiC أفضل نمط لتدفق الغاز الصفحي، والذي يضمن تساوي المظهر الحراري. وهذا يساعد على منع انتشار أي تلوث أو شوائب، مما يضمن نموًا فوقيًا عالي الجودة على شريحة الويفر. تقدم Semicorex ميزة سعرية تنافسية وتغطي العديد من الأسواق الأوروبية والأمريكية. فريقنا مكرس لتقديم خدمة ودعم عملاء ممتازين. نحن ملتزمون بأن نصبح شريكك على المدى الطويل، ونقدم منتجات عالية الجودة وموثوقة لمساعدة عملك على النمو.

معلمات جهاز MOCVD المطلي بـ SiC

المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC
خصائص SiC-CVD
الهيكل البلوري	المرحلة FCC β
كثافة	جم / سم ³	3.21
صلابة	صلابة فيكرز	2500
حجم الحبوب	ميكرومتر	2~10
النقاء الكيميائي	%	99.99995
القدرة الحرارية	ي كغ-1 ك-1	640
درجة حرارة التسامي	℃	2700
قوة العطف	ميجا باسكال (RT 4 نقاط)	415
معامل يونغ	المعدل التراكمي (انحناء 4pt، 1300 درجة مئوية)	430
التمدد الحراري (C.T.E)	10-6 ك-1	4.5
الموصلية الحرارية	(ث / م ك)	300

مميزات جهاز MOCVD المطلي بـ SiC

- تجنب التقشير وتأكد من الطلاء على جميع الأسطح
مقاومة الأكسدة لدرجات الحرارة العالية: مستقرة عند درجات حرارة عالية تصل إلى 1600 درجة مئوية
درجة نقاء عالية: يتم تصنيعها عن طريق ترسيب البخار الكيميائي CVD تحت ظروف الكلورة ذات درجة الحرارة العالية.
مقاومة التآكل: صلابة عالية، سطح كثيف وجزيئات دقيقة.
مقاومة التآكل: الأحماض والقلويات والملح والكواشف العضوية.
- تحقيق أفضل نمط لتدفق الغاز الصفحي
- ضمان تساوي الملف الحراري
- منع انتشار أي تلوث أو شوائب