Semicorex هي شركة رائدة في تصنيع وتوريد مستشعر MOCVD المطلي SiC. تم تصميم منتجنا خصيصًا لصناعات أشباه الموصلات لتنمية الطبقة فوق المحورية على رقاقة الويفر. يتم استخدام حامل الجرافيت المطلي بكربيد السيليكون عالي النقاء كلوحة مركزية في MOCVD ، مع تصميم ترس أو على شكل حلقة. يستخدم جهاز التحسس الخاص بنا على نطاق واسع في معدات MOCVD ، مما يضمن مقاومة عالية للحرارة والتآكل ، واستقرارًا كبيرًا في البيئات القاسية.
واحدة من أهم ميزات مستشعر MOCVD المطلي بـ SiC هو أنه يضمن الطلاء على جميع الأسطح ، وتجنب التقشير. يتميز المنتج بمقاومة الأكسدة عند درجات الحرارة العالية ، وهو مستقر عند درجات حرارة عالية تصل إلى 1600 درجة مئوية. يتم تحقيق درجة نقاء عالية باستخدام ترسيب البخار الكيميائي CVD تحت ظروف الكلورة ذات درجة الحرارة العالية. المنتج ذو سطح كثيف مع جزيئات دقيقة ، مما يجعله شديد المقاومة للتآكل من الأحماض والقلويات والملح والمواد الكاشفة العضوية.
يضمن مستشعر MOCVD المطلي SiC الخاص بنا أفضل نمط تدفق للغاز الرقائقي ، والذي يضمن توازن المظهر الحراري. هذا يساعد على منع أي تلوث أو انتشار للشوائب ، مما يضمن نمو فائق الجودة على رقاقة الويفر. تقدم Semicorex ميزة سعرية تنافسية وتغطي العديد من الأسواق الأوروبية والأمريكية. فريقنا مكرس لتقديم خدمة ودعم عملاء ممتازين. نحن ملتزمون بأن نصبح شريكك على المدى الطويل ، حيث نقدم منتجات عالية الجودة وموثوقة لمساعدة عملك على النمو.
معلمات مستشعر MOCVD المطلي ب SiC
المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC |
||
خصائص SiC-CVD |
||
هيكل بلوري |
مرحلة FCC β |
|
كثافة |
ز / سم ³ |
3.21 |
صلابة |
صلابة فيكرز |
2500 |
حجم الحبوب |
μ م |
2 ~ 10 |
نقاء كيميائي |
% |
99.99995 |
السعة الحرارية |
J · kg-1 · K-1 |
640 |
درجة حرارة التسامي |
℃ |
2700 |
قوة فيليكسورال |
MPa (RT 4 نقاط) |
415 |
معامل يونغ |
المعدل التراكمي (منحنى 4 نقاط ، 1300 درجة) |
430 |
التمدد الحراري (CTE) |
10-6 ك -1 |
4.5 |
توصيل حراري |
(ث / م ك) |
300 |
ميزات مستشعر MOCVD المغلف ب SiC
- تجنب التقشير والتأكد من الطلاء على كل الأسطح
مقاومة الأكسدة في درجات الحرارة العالية: مستقرة في درجات حرارة عالية تصل إلى 1600 درجة مئوية
درجة نقاء عالية: مصنوعة من ترسيب البخار الكيميائي CVD تحت ظروف الكلورة في درجات حرارة عالية.
مقاومة التآكل: صلابة عالية ، سطح كثيف وجزيئات دقيقة.
مقاومة التآكل: الكواشف الحمضية والقلوية والملح والعضوية.
- تحقيق أفضل نمط تدفق للغاز الرقائقي
- ضمان التوازن الحراري للملف الشخصي
- منع أي تلوث أو انتشار للشوائب