MOCVD Susceptor للنمو الفوقي

Semicorex هي المورد الرئيسي والشركة المصنعة لـ MOCVD Susceptor للنمو الفوقي. يتم استخدام منتجنا على نطاق واسع في صناعات أشباه الموصلات، وخاصة في نمو الطبقة الفوقي على رقاقة الرقاقة. تم تصميم جهاز الاستقبال الخاص بنا ليتم استخدامه كلوحة مركزية في MOCVD، مع تصميم على شكل ترس أو حلقة. يتمتع المنتج بمقاومة عالية للحرارة والتآكل، مما يجعله مستقرًا في البيئات القاسية.

إرسال استفسار

وصف المنتج

تتمثل إحدى مزايا منتج MOCVD Susceptor للنمو الفوقي في قدرته على ضمان الطلاء على جميع الأسطح، وتجنب التقشر. يتمتع المنتج بمقاومة الأكسدة لدرجات الحرارة العالية، مما يضمن الثبات عند درجات حرارة عالية تصل إلى 1600 درجة مئوية. يتم تحقيق النقاء العالي لمنتجنا من خلال ترسيب البخار الكيميائي CVD تحت ظروف الكلورة ذات درجة الحرارة العالية. يضمن السطح الكثيف ذو الجزيئات الدقيقة أن المنتج يتمتع بمقاومة عالية للتآكل الناتج عن الأحماض والقلويات والملح والكواشف العضوية.
تم تصميم جهاز MOCVD Susceptor للنمو الفوقي لتحقيق أفضل نمط لتدفق الغاز الصفحي، مما يضمن تساوي المظهر الحراري. وهذا يساعد على منع انتشار أي تلوث أو شوائب، مما يضمن نموًا فوقيًا عالي الجودة على شريحة الويفر.
اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد عن منتجنا MOCVD Susceptor للنمو الفوقي.

معلمات MOCVD Susceptor للنمو الفوقي

المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC
خصائص SiC-CVD
الهيكل البلوري	المرحلة FCC β
كثافة	جم / سم ³	3.21
صلابة	صلابة فيكرز	2500
حجم الحبوب	ميكرومتر	2~10
النقاء الكيميائي	%	99.99995
القدرة الحرارية	ي كغ-1 ك-1	640
درجة حرارة التسامي	℃	2700
قوة العطف	ميجاباسكال (RT 4 نقاط)	415
معامل يونغ	المعدل التراكمي (انحناء 4pt، 1300 درجة مئوية)	430
التمدد الحراري (C.T.E)	10-6 ك-1	4.5
الموصلية الحرارية	(ث / م ك)	300

ملامح MOCVD Susceptor للنمو الفوقي

- تجنب التقشير وتأكد من الطلاء على جميع الأسطح
مقاومة الأكسدة لدرجات الحرارة العالية: مستقرة عند درجات حرارة عالية تصل إلى 1600 درجة مئوية
درجة نقاء عالية: يتم تصنيعها عن طريق ترسيب البخار الكيميائي CVD تحت ظروف الكلورة ذات درجة الحرارة العالية.
مقاومة التآكل: صلابة عالية، سطح كثيف وجزيئات دقيقة.
مقاومة التآكل: الأحماض والقلويات والملح والكواشف العضوية.
- تحقيق أفضل نمط لتدفق الغاز الصفحي
- ضمان تساوي الملف الحراري
- منع انتشار أي تلوث أو شوائب