محرض MOCVD للنمو فوق المحور

Semicorex هي المورد الرئيسي والشركة المصنعة لمستقبل MOCVD لنمو Epitaxial. يستخدم منتجنا على نطاق واسع في صناعات أشباه الموصلات ، خاصة في نمو الطبقة فوق المحورية على رقاقة الويفر. تم تصميم المستشعرات الخاصة بنا لاستخدامها كلوحة مركزية في MOCVD ، مع تصميم ترس أو على شكل حلقة. يتميز المنتج بمقاومة عالية للحرارة والتآكل ، مما يجعله مستقرًا في البيئات القاسية.

إرسال استفسار

وصف المنتج

تتمثل إحدى مزايا مستشعر MOCVD للنمو فوق المحور في قدرته على ضمان الطلاء على جميع الأسطح ، وتجنب التقشير. يتميز المنتج بمقاومة الأكسدة عند درجات الحرارة العالية ، مما يضمن الاستقرار في درجات حرارة عالية تصل إلى 1600 درجة مئوية. يتم تحقيق النقاوة العالية لمنتجنا من خلال ترسيب البخار الكيميائي CVD تحت ظروف المعالجة بالكلور بدرجة حرارة عالية. يضمن السطح الكثيف مع الجسيمات الدقيقة أن المنتج مقاوم للغاية للتآكل من الأحماض والقلويات والملح والمواد الكاشفة العضوية.
تم تصميم مستشعر MOCVD للنمو فوق المحور لتحقيق أفضل نمط تدفق للغاز الرقائقي ، مما يضمن توازن المظهر الحراري. هذا يساعد على منع أي تلوث أو انتشار للشوائب ، مما يضمن نمو فائق الجودة على رقاقة الويفر.
اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد عن مستشعر MOCVD للنمو فوق المحور الفوقي.

معلمات MOCVD Susceptor للنمو فوق المحور

المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC
خصائص SiC-CVD
هيكل بلوري	مرحلة FCC Î²
كثافة	ز / سم ³	3.21
صلابة	صلابة فيكرز	2500
حجم الحبوب	Î¼ م	2 ~ 10
نقاء كيميائي	%	99.99995
السعة الحرارية	J · kg-1 · K-1	640
درجة حرارة التسامي	℃	2700
قوة فيليكسورال	MPa (RT 4 نقاط)	415
معامل يونغ	المعدل التراكمي (منحنى 4 نقاط ، 1300 درجة)	430
التمدد الحراري (CTE)	10-6 ك -1	4.5
توصيل حراري	(ث / م ك)	300

ملامح مستشعر MOCVD للنمو فوق المحور

- تجنب التقشير والتأكد من الطلاء على كل الأسطح
مقاومة الأكسدة في درجات الحرارة العالية: مستقرة في درجات حرارة عالية تصل إلى 1600 درجة مئوية
درجة نقاء عالية: مصنوعة من ترسيب البخار الكيميائي CVD تحت ظروف الكلورة في درجات حرارة عالية.
مقاومة التآكل: صلابة عالية ، سطح كثيف وجزيئات دقيقة.
مقاومة التآكل: الكواشف الحمضية والقلوية والملح والعضوية.
- تحقيق أفضل نمط تدفق للغاز الرقائقي
- ضمان اتساق البروفايل الحراري
- منع أي تلوث أو انتشار للشوائب