Semicorex هي مورد موثوق ومُصنع لمُحسِسات الجرافيت لطلاء كربيد السيليكون لـ MOCVD. تم تصميم منتجنا خصيصًا لتلبية احتياجات صناعة أشباه الموصلات في تنمية الطبقة فوق المحورية على رقاقة الويفر. يتم استخدام المنتج كلوحة مركزية في MOCVD ، مع تصميم ترس أو على شكل حلقة. تتميز بمقاومة عالية للحرارة والتآكل ، مما يجعلها مثالية للاستخدام في البيئات القاسية.
يحتوي مستشعر الجرافيت المطلي بكربيد السيليكون الخاص بنا لـ MOCVD على العديد من الميزات الرئيسية التي تجعله متميزًا عن المنافسة. إنه يضمن الطلاء على كل الأسطح ، ويتجنب التقشر ، ومقاومة الأكسدة لدرجات الحرارة العالية ، مما يضمن الاستقرار حتى في درجات الحرارة العالية التي تصل إلى 1600 درجة مئوية. المنتج مصنوع بنقاوة عالية من خلال ترسيب البخار الكيميائي CVD تحت ظروف الكلورة ذات درجة الحرارة العالية. له سطح كثيف مع جزيئات دقيقة ، مما يجعله شديد المقاومة للتآكل من الأحماض والقلويات والملح والمواد الكاشفة العضوية.
تم تصميم مستشعر الجرافيت المطلي بكربيد السيليكون الخاص بنا لـ MOCVD لتحقيق أفضل نمط تدفق للغاز الرقائقي ، مما يضمن توازن المظهر الحراري. إنه يمنع أي تلوث أو انتشار للشوائب ، مما يضمن نمو فائق الجودة على رقاقة الويفر.
معلمات مستشعر الجرافيت المطلي بكربيد السيليكون لـ MOCVD
المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC |
||
خصائص SiC-CVD |
||
هيكل بلوري |
مرحلة FCC β |
|
كثافة |
ز / سم ³ |
3.21 |
صلابة |
صلابة فيكرز |
2500 |
حجم الحبوب |
μ م |
2 ~ 10 |
نقاء كيميائي |
% |
99.99995 |
السعة الحرارية |
J · kg-1 · K-1 |
640 |
درجة حرارة التسامي |
℃ |
2700 |
قوة فيليكسورال |
MPa (RT 4 نقاط) |
415 |
معامل يونغ |
المعدل التراكمي (منحنى 4 نقاط ، 1300 درجة) |
430 |
التمدد الحراري (CTE) |
10-6 ك -1 |
4.5 |
توصيل حراري |
(ث / م ك) |
300 |
ميزات مستشعر الجرافيت المطلي بكربيد السيليكون لـ MOCVD
- تجنب التقشير والتأكد من الطلاء على كل الأسطح
مقاومة الأكسدة في درجات الحرارة العالية: مستقرة في درجات حرارة عالية تصل إلى 1600 درجة مئوية
درجة نقاء عالية: مصنوعة من ترسيب البخار الكيميائي CVD تحت ظروف الكلورة في درجات حرارة عالية.
مقاومة التآكل: صلابة عالية ، سطح كثيف وجزيئات دقيقة.
مقاومة التآكل: الكواشف الحمضية والقلوية والملح والعضوية.
- تحقيق أفضل نمط تدفق للغاز الرقائقي
- ضمان اتساق البروفايل الحراري
- منع أي تلوث أو انتشار للشوائب