MOCVD Cover Star Disc Plate من أجل رقاقة الويفر

Semicorex هي شركة مصنعة وموردة مشهورة لصفيحة قرص MOCVD ذات الغطاء النجمي عالية الجودة من أجل رقاقة Epitaxy. تم تصميم منتجنا خصيصًا لتلبية احتياجات صناعة أشباه الموصلات ، خاصة في تنمية الطبقة فوق المحورية على رقاقة الويفر. يتم استخدام جهاز التحسس الخاص بنا كلوحة مركزية في MOCVD ، مع تصميم على شكل حلقة أو ترس. المنتج ذو مقاومة عالية للحرارة العالية والتآكل ، مما يجعله مثاليًا للاستخدام في البيئات القاسية.

إرسال استفسار

وصف المنتج

إن لوحة قرص MOCVD ذات الغطاء النجمي الخاصة بنا من أجل Wafer Epitaxy هي منتج ممتاز يضمن الطلاء على كل الأسطح ، وبالتالي تجنب التقشير. تتميز بمقاومة الأكسدة عند درجات الحرارة العالية التي تضمن الاستقرار حتى في درجات الحرارة العالية التي تصل إلى 1600 درجة مئوية. المنتج مصنوع بنقاوة عالية من خلال ترسيب البخار الكيميائي CVD تحت ظروف الكلورة ذات درجة الحرارة العالية. له سطح كثيف مع جزيئات دقيقة ، مما يجعله شديد المقاومة للتآكل من الأحماض والقلويات والملح والمواد الكاشفة العضوية.
تضمن لوحة MOCVD ذات الغطاء النجمي الخاصة بنا من أجل Wafer Epitaxy أفضل نمط لتدفق الغاز الرقائقي ، مما يضمن توازن المظهر الحراري. إنه يمنع أي تلوث أو انتشار للشوائب ، مما يضمن نمو فائق الجودة على رقاقة الويفر. يتم تسعير منتجنا بشكل تنافسي ، مما يجعله في متناول العديد من العملاء. نحن نغطي العديد من الأسواق الأوروبية والأمريكية ، وفريقنا مكرس لتقديم خدمة ودعم عملاء ممتازين. نحن نسعى جاهدين لنصبح شريكك على المدى الطويل في توفير لوحة MOCVD ذات الغطاء النجمي عالية الجودة والموثوقة من أجل Wafer Epitaxy.

معلمات MOCVD Cover Star Disc Plate من أجل رقاقة الويفر

المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC
خصائص SiC-CVD
هيكل بلوري	مرحلة FCC Î²
كثافة	ز / سم ³	3.21
صلابة	صلابة فيكرز	2500
حجم الحبوب	Î¼ م	2 ~ 10
نقاء كيميائي	%	99.99995
السعة الحرارية	J · kg-1 · K-1	640
درجة حرارة التسامي	℃	2700
قوة فيليكسورال	MPa (RT 4 نقاط)	415
معامل يونغ	المعدل التراكمي (منحنى 4 نقاط ، 1300 درجة)	430
التمدد الحراري (CTE)	10-6 ك -1	4.5
توصيل حراري	(ث / م ك)	300

ميزات لوحة قرص MOCVD ذات الغطاء النجمي لـ Wafer Epitaxy

- تجنب التقشير والتأكد من الطلاء على كل الأسطح
مقاومة الأكسدة في درجات الحرارة العالية: مستقرة في درجات حرارة عالية تصل إلى 1600 درجة مئوية
درجة نقاء عالية: مصنوعة من ترسيب البخار الكيميائي CVD تحت ظروف الكلورة في درجات حرارة عالية.
مقاومة التآكل: صلابة عالية ، سطح كثيف وجزيئات دقيقة.
مقاومة التآكل: الكواشف الحمضية والقلوية والملح والعضوية.
- تحقيق أفضل نمط تدفق للغاز الرقائقي
- ضمان اتساق البروفايل الحراري
- منع أي تلوث أو انتشار للشوائب