متحسس SiC لـ MOCVD

Semicorex هي شركة رائدة في تصنيع وتوريد SiC Susceptor لـ MOCVD. تم تصميم منتجنا خصيصًا لتلبية احتياجات صناعة أشباه الموصلات في تنمية الطبقة فوق المحورية على رقاقة الويفر. يتم استخدام المنتج كلوحة مركزية في MOCVD ، مع تصميم ترس أو على شكل حلقة. تتميز بمقاومة عالية للحرارة والتآكل ، مما يجعلها مثالية للاستخدام في البيئات القاسية.

إرسال استفسار

وصف المنتج

يعتبر SiC Susceptor لـ MOCVD منتجًا عالي الجودة يحتوي على العديد من الميزات الرئيسية. إنه يضمن الطلاء على كل الأسطح ، ويتجنب التقشر ، ومقاومة الأكسدة لدرجات الحرارة العالية ، مما يضمن الاستقرار حتى في درجات الحرارة العالية التي تصل إلى 1600 درجة مئوية. المنتج مصنوع بنقاوة عالية من خلال ترسيب البخار الكيميائي CVD تحت ظروف الكلورة ذات درجة الحرارة العالية. له سطح كثيف مع جزيئات دقيقة ، مما يجعله شديد المقاومة للتآكل من الأحماض والقلويات والملح والمواد الكاشفة العضوية.
تم تصميم مستشعر SiC لـ MOCVD لضمان أفضل نمط تدفق للغاز الرقائقي ، مما يضمن توازن المظهر الحراري. إنه يمنع أي تلوث أو انتشار للشوائب ، مما يضمن نمو فائق الجودة على رقاقة الويفر.

معلمات SiC Susceptor لـ MOCVD

المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC
خصائص SiC-CVD
هيكل بلوري	مرحلة FCC Î²
كثافة	ز / سم ³	3.21
صلابة	صلابة فيكرز	2500
حجم الحبوب	Î¼ م	2 ~ 10
نقاء كيميائي	%	99.99995
السعة الحرارية	J · kg-1 · K-1	640
درجة حرارة التسامي	℃	2700
قوة فيليكسورال	MPa (RT 4 نقاط)	415
معامل يونغ	المعدل التراكمي (منحنى 4 نقاط ، 1300 درجة)	430
التمدد الحراري (CTE)	10-6 ك -1	4.5
توصيل حراري	(ث / م ك)	300

ميزات SiC Susceptor لـ MOCVD

- تجنب التقشير والتأكد من الطلاء على كل الأسطح
مقاومة الأكسدة في درجات الحرارة العالية: مستقرة في درجات حرارة عالية تصل إلى 1600 درجة مئوية
درجة نقاء عالية: مصنوعة من ترسيب البخار الكيميائي CVD تحت ظروف الكلورة في درجات حرارة عالية.
مقاومة التآكل: صلابة عالية ، سطح كثيف وجزيئات دقيقة.
مقاومة التآكل: الكواشف الحمضية والقلوية والملح والعضوية.
- تحقيق أفضل نمط تدفق للغاز الرقائقي
- ضمان اتساق البروفايل الحراري
- منع أي تلوث أو انتشار للشوائب