منتجات
SiC Susceptor لـ MOCVD

SiC Susceptor لـ MOCVD

Semicorex هي شركة رائدة في تصنيع وتوريد SiC Susceptor لـ MOCVD. تم تصميم منتجنا خصيصًا لتلبية احتياجات صناعة أشباه الموصلات في تنمية الطبقة الفوقية على شريحة الرقاقة. يتم استخدام المنتج كلوحة مركزية في MOCVD، مع تصميم على شكل ترس أو حلقة. يتميز بمقاومته العالية للحرارة والتآكل، مما يجعله مثاليًا للاستخدام في البيئات القاسية.

إرسال استفسار

وصف المنتج

يعد SiC Susceptor الخاص بنا لـ MOCVD منتجًا عالي الجودة يحتوي على العديد من الميزات الرئيسية. إنه يضمن الطلاء على جميع الأسطح، مع تجنب التقشر، ويتميز بمقاومة الأكسدة لدرجات الحرارة العالية، مما يضمن الثبات حتى في درجات الحرارة العالية التي تصل إلى 1600 درجة مئوية. المنتج مصنوع بدرجة نقاء عالية من خلال ترسيب البخار الكيميائي CVD تحت ظروف الكلورة ذات درجة الحرارة العالية. إنه ذو سطح كثيف مع جزيئات دقيقة، مما يجعله مقاومًا للغاية للتآكل الناتج عن الأحماض والقلويات والملح والكواشف العضوية.
تم تصميم جهاز SiC Susceptor الخاص بنا لـ MOCVD لضمان أفضل نمط لتدفق الغاز الصفحي، مما يضمن تساوي المظهر الحراري. إنه يمنع انتشار أي تلوث أو شوائب، مما يضمن نموًا فوقيًا عالي الجودة على شريحة الويفر.


معلمات SiC Susceptor لـ MOCVD

المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC

خصائص SiC-CVD

الهيكل البلوري

المرحلة FCC β

كثافة

جم/سم ³

3.21

صلابة

صلابة فيكرز

2500

حجم الحبوب

ميكرومتر

2~10

النقاء الكيميائي

%

99.99995

القدرة الحرارية

ي كغ-1 ك-1

640

درجة حرارة التسامي

2700

قوة العطف

ميجا باسكال (RT 4 نقاط)

415

معامل يونغ

المعدل التراكمي (انحناء 4pt، 1300 درجة مئوية)

430

التمدد الحراري (C.T.E)

10-6 ك-1

4.5

الموصلية الحرارية

(ث / م ك)

300


ميزات SiC Susceptor لـ MOCVD

- تجنب التقشير وتأكد من الطلاء على جميع الأسطح
مقاومة الأكسدة لدرجات الحرارة العالية: مستقرة عند درجات حرارة عالية تصل إلى 1600 درجة مئوية
درجة نقاء عالية: يتم تصنيعها عن طريق ترسيب البخار الكيميائي CVD تحت ظروف الكلورة ذات درجة الحرارة العالية.
مقاومة التآكل: صلابة عالية، سطح كثيف وجزيئات دقيقة.
مقاومة التآكل: الأحماض والقلويات والملح والكواشف العضوية.
- تحقيق أفضل نمط لتدفق الغاز الصفحي
- ضمان تساوي الملف الحراري
- منع انتشار أي تلوث أو شوائب




الكلمات الساخنة: SiC Susceptor لـ MOCVD، الصين، المصنعين، الموردين، المصنع، مخصص، بالجملة، متقدم، متين
الفئة ذات الصلة
إرسال استفسار
لا تتردد في تقديم استفسارك في النموذج أدناه. سوف نقوم بالرد عليك خلال 24 ساعة.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept